스퍼터링법을 포함하는 물리증기 증착(Physical vapor seposition) 방법을 이용하여, 열반사 특성을 갖는 티타늄 산화물 나노컬럼/박막을 포함하는 물품의 제조방법에 있어서,타겟과 기판이 설치된 챔버 내에 비활성 가스를 공급하는 단계, 그리고플라즈마 전력을 인가하여 상기 타겟에 다중상의 그레인 복합구조를 갖는 티타늄 산화물 나노컬럼 박막을 증착시키는 단계를 포함하고,상기 타겟은 Ti 또는 TiOX (여기서, x는 0003c#x003c#2임)이고,상기 증착단계에서 하나의 공정에서 여러 개의 상이 동시에 형성되며, 상기 티타늄 산화물 나노컬럼 박막은 티타늄 (Ti), 이산화티타늄(TiO2) 및 서브 티타늄(TinOn2-1)(여기서, n은 1 이상)의 다중상을 가지는,티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 물품의 제조방법.

제1항에 있어서,상기 가스를 공급하는 단계와 증착시키는 단계 사이에 상기 기판의 온도를 상승시키는 단계를 더 포함하며, 온도가 상승된 상기 기판의 온도는 상온 내지 500 ℃ 인, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 물품의 제조방법.

제1항에 있어서,상기 티타늄 나노컬럼/박막에 탈이온수를 수직으로 떨어뜨릴 때, 상기 박막과 상기 탈이온수의 접촉각이 기존의 유리보다 높은, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 물품의 제조방법.

제1항에 있어서,상기 비활성 가스는, 고순도의 아르곤, 헬륨 및 질소로 이루어진 그룹 중 1 종 이상의 가스인 것을 특징으로 하는, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 물품의 제조방법.

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제1항에 있어서,상기 기판 상에 박막을 성장시키는 단계는, 50~500W 플라즈마 전력으로 수행되는 것을 특징으로 하는, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 물품의 제조방법.

열반사 특성을 갖는 티타늄 산화물 나노컬럼/박막을 포함하는 물품으로서,상기 티타늄 산화물 나노컬럼 박막이, 한 번의 스퍼터링 증착 공정을 통해 하나의 층으로 제조되며, 티타늄 (Ti), 이산화티타늄(TiO2) 및 서브 티타늄(TinOn2-1)(여기서 n은 1 이상)을 두개이상 포함하고, 다중상의 그레인 복합구조를 가지는 것을 특징으로 하는,티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 물품.

열반사 특성을 갖는 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 열반사 유리로서,상기 티타늄 산화물 나노컬럼 박막이, 한 번의 스퍼터링 증착 공정을 통해 하나의 층으로 제조되며, 티타늄 (Ti), 이산화티타늄(TiO2) 및 서브 티타늄(TinOn2-1)(여기서 n은 1 이상)을 두개이상 포함하고, 다중상의 그레인 복합구조를 가지는 것을 특징으로 하는,티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 열반사 유리.

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제8항에 있어서,상기 티타늄 산화물 나노컬럼/박막은 두께가 30~500nm인 것을 특징으로 하는, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 열반사 유리.

제8항에 있어서,상기 티타늄 산화물 나노칼럼/박막은, 가시광선 투과율이 30~80%인 것을 특징으로 하는, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 열반사 유리.

제7항에 있어서,상기 티타늄 산화물 나노칼럼/박막은, 적외선 반사율이 10~80%인 것을 특징으로 하는, 티타늄 산화물 나노칼럼/박막을 포함하는 열반사 유리.