난막 (egg membrane);상기 난막의 제1 영역의 상부 및 하부에 각각 위치하는 2개의 전극; 및상기 난막에서 상기 제1 영역이 아닌 제2 영역에 형성된 인터디지털 전극;상기 2개의 전극을 봉지하되, 상기 난막의 하부 전체 및 상기 난막의 상기 제1 영역의 상부를 덮고 상기 난막의 상기 제2 영역의 상부를 덮지 않는 봉지부를 포함하는 습도 센서.

제 1 항에 있어서, 상기 난막은 달걀의 난막인 습도 센서.

제 1 항에 있어서, 상기 인터디지털 전극의 핑거폭 (finger width) 및 스페이싱폭 (spacing width) 은 서로 동일한 습도 센서.

제 3 항에 있어서, 상기 핑거폭 및 상기 스페이싱폭은 100 μm 인 습도 센서.

제 1 항에 있어서, 상기 습도 센서는 별도의 기판을 구비하지 않는 습도 센서.

제 1 항에 있어서, 상기 난막은 액티브 센싱 레이어 및 기판으로 기능하는 습도 센서.

제 1 항에 있어서, 임피던스 응답 및 커패시턴스 응답 모두에 의해 습도를 센싱할 수 있는 습도 센서.

제 1 항에 있어서, 상기 난막이 전기 발생 동력으로 기능하는 습도 센서.

제 8 항에 있어서, 상기 난막에서 상기 인터디지털 전극이 위치하지 않은 상기 제1 영역에서 마찰전기가 발생하는 습도 센서.

삭제