| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 난막 (egg membrane);상기 난막의 제1 영역의 상부 및 하부에 각각 위치하는 2개의 전극;상기 난막에서 상기 제1 영역이 아닌 제2 영역의 상부에 위치하되, 100㎛의 핑거폭과 100㎛의 스페이싱폭이 구비되며, 197.33nm의 거칠기(roughness) 및 1.77㎛ 두께가 구비되며, 10mm * 4mm 의 면적을 가지는 인터디지털 전극; 및상기 2개의 전극을 봉지하되, 상기 인터디지털 전극 및 상기 난막에서의 상기 제2 영역이 습도 센서로서 기능하는 것을 특징으로 하되, 해당 습도 센서의 응답시간 (Tres) 및 회복시간 (Trec) 은 각각 1.99초 및 8.76초인 것을 특징으로 하며, 상기 난막의 하부 전체 및 상기 난막의 상기 제1 영역의 상부를 덮고 상기 제2 영역의 상부를 덮지 않는 봉지부; 및상기 난막의 상기 제1 영역의 상부를 덮는 상기 봉지부 상에 프린팅되고 (printed), 상기 봉지부에 의해 덮이지 않은 상기 난막의 상기 제2 영역에 위치하는 상기 인터디지털 전극에는 상기 습도 센서 기능 이외에 전기 발생 기능이 수행될 수 있도록 상기 인터디지털 전극에 연결된 저항을 포함하고,상기 2개의 전극 중 적어도 하나의 전극은 상기 난막보다 작은 면적을 가지는 것을 특징으로 하며,상기 난막에서 눌려지는 영역만 마찰전기를 발생시키고, 상기 2개의 전극은 구리전극을 포함하고, 상기 봉지부는 폴리디메틸실록산 (polydimethylsiloxane;PDMS) 으로 형성되며, 상기 프린팅된 저항은 PEDOT:PSS (poly(3,4-ethylenedioxythiophene) polystyrene sulfonate), PMMA (poly methyl methacrylate), 및 은 (Ag) 중 적어도 하나로 형성되고,상기 마찰전기에 의해 상기 인터디지털 전극에 전압이 인가되는 것을 특징으로 하는, 난막 전기 발생 장치. |
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