| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 복수 개로 분할되어 형성된 픽셀전극; 상기 분할된 픽셀전극 상에 형성되고, 입사된 엑스선(X-ray)에 의해 전자-정공 쌍을 발생시키는 포토컨덕터층; 상기 포토컨덕터층 상에 형성된 공통전극; 및 상기 공통전극 상에 상기 분할된 픽셀전극과 대응되도록 복수 개로 분할되어 형성된 복수 개의 파장변환필터를 포함하는 엑스선 검출기. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 분할된 픽셀전극 및 상기 분할된 파장변환필터는 2분할 내지 4분할되어 있는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 3 | 제1항에 있어서, 상기 분할된 파장변환필터는 엑스선 흡수량이 서로 다른 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 4 | 제3항에 있어서, 상기 분할된 파장변환필터는 두께가 서로 다른 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 5 | 제3항에 있어서, 상기 파장변환필터는 알루미늄(Al), 구리 (Cu) 또는 텅스텐(W)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 6 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 하기 화학식 1로 표시되는 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기.[화학식 1] AMX3 (상기 화학식 1에서, A는 1가의 양이온이고, M은 2가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.) |
| 7 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 하기 화학식 2로 표시되는 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기.[화학식 2] A3M2X9 (상기 화학식 2에서, A는 1가의 양이온이고, M은 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.) |
| 8 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 하기 화학식 3으로 표시되는 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기.[화학식 3] A3MX6 (상기 화학식 3에서, A는 1가의 양이온이고, M은 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.) |
| 9 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 하기 화학식 4로 표시되는 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기.[화학식 4] AM2X7 (상기 화학식 4에서, A는 1가의 양이온이고, M은 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.) |
| 10 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 하기 화학식 5로 표시되는 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기.[화학식 5] A2A'n-1MnX3n+1 (상기 화학식 5에서, A는 1가의 양이온이고, A'는 1가의 양이온이며, M은 1가, 2가, 3가 또는 4가의 금속 양이온이고, X는 1가 음이온이며, n은 적어도 1이상임.) |
| 11 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 나노결정입자로 이루어진 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 12 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 CdTe, PbI2, a-Se, PbO, HgI2 및 BiI3으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 13 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 유기 바인더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 14 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층은 무기 바인더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 15 | 제1항에 있어서, 상기 포토컨덕터층의 두께는 1 ㎛ 내지 1,000 ㎛ 범위인 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 16 | 제1항에 있어서, 상기 픽셀전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 인듐주석산화물(ITO), 알루미늄아연산화물(AZO), 불소산화주석(FTO), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(graphene) 및 폴리에틸렌디옥시티오펜:폴리스티렌설포네이트(PEDOT:PSS)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 17 | 제1항에 있어서, 상기 공통전극은 알루미늄(Al), 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 인듐주석산화물(ITO), 알루미늄아연산화물(AZO), 불소산화주석(FTO), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(graphene) 및 폴리에틸렌디옥시티오펜:폴리스티렌설포네이트(PEDOT:PSS)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 18 | 제1항에 있어서, 상기 픽셀전극 및 상기 공통전극 사이에 전자 전달층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 19 | 제18항에 있어서, 상기 전자 전달층은 금속 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 20 | 제1항에 있어서, 상기 픽셀전극 및 상기 공통전극 사이에 정공 전달층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 21 | 제20항에 있어서, 상기 정공 전달층은 티오펜계, 파라페닐렌비닐렌계, 카바졸계 및 트리페닐아민계로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 22 | 제1항에 있어서, 상기 기판은 상보형금속산화반도체(CMOS), 전하결합소자(CCD) 또는 박막트랜지스터(TFT)를 포함하는 어레이 기판인 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 23 | 제1항에 있어서, 상기 기판은 유리(glass), 석영(quartz), 실리콘(silicon) 및 플라스틱(plastic)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 24 | 기판; 상기 기판 상에 형성되고, 복수 개로 분할되어 형성된 픽셀전극; 상기 분할된 픽셀전극 상에 상기 분할된 픽셀전극과 대응되도록 복수 개로 분할되어 형성되고, 입사된 엑스선(X-ray)에 의해 전자-정공 쌍을 발생시키는 포토컨덕터층; 및 상기 분할된 포토컨덕터층 상에 형성된 공통전극을 포함하는 엑스선 검출기. |
| 25 | 제24항에 있어서, 상기 분할된 픽셀전극 및 상기 분할된 포토컨덕터층은 2분할 내지 4분할되어 있는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 26 | 제24항에 있어서, 상기 분할된 포토컨덕터층은 엑스선 흡수량이 서로 다른 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 27 | 제26항에 있어서, 상기 분할된 포토컨덕터층은 하기 화학식 1 내지 화학식 5로 표시되는 페로브스카이트 화합물, CdTe, PbI2, a-Se, PbO, HgI2 및 BiI3으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 서로 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기.[화학식 1] AMX3 (상기 화학식 1에서, A는 1가의 양이온이고, M은 2가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.)[화학식 2] A3M2X9 (상기 화학식 2에서, A는 1가의 양이온이고, M은 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.)[화학식 3] A3MX6 (상기 화학식 3에서, A는 1가의 양이온이고, M은 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.)[화학식 4] AM2X7 (상기 화학식 4에서, A는 1가의 양이온이고, M은 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온임.)[화학식 5] A2A'n-1MnX3n+1 (상기 화학식 5에서, A는 1가의 양이온이고, A'는 1가의 양이온이며, M은 1가, 2가, 3가 또는 4가의 금속 양이온이고, X는 1가 음이온이며, n은 적어도 1이상임.) |
| 28 | 제24항에 있어서, 상기 픽셀전극 및 상기 공통전극 사이에 전자 전달층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 29 | 제24항에 있어서, 상기 픽셀전극 및 상기 공통전극 사이에 정공 전달층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑스선 검출기. |
| 30 | 엑스선을 발생시키는 엑스선 발생기; 상기 엑스선을 검출하는 제1항 내지 제29항 중 어느 한 항에 따른 엑스선 검출기; 상기 엑스선 검출기를 구동시키는 구동부; 및 엑스선 검출 전압을 처리하는 데이터 처리부를 포함하는 엑스선 시스템. |
| 31 | 제30항에 있어서,상기 엑스선 시스템은 엑스선 회절 분석 장치(XRD)인 것을 특징으로 하는 엑스선 시스템. |
| 32 | 제30항에 있어서,상기 엑스선 시스템은 비파괴 검사 장치인 것을 특징으로 하는 엑스선 시스템. |