등가 커패시턴스를 조정하여 임피던스를 조정하는 임피던스 조정 회로로, 상기 임피던스 조정 회로는:대상 커패시터와의 연결에 따라 상기 등가 커패시턴스를 변화시키는 단위 레그(leg)로, 상기 단위 레그는: 기준 전압 레일에 일 전극이 연결되고, 등가적으로 상기 대상 커패시터에 연결되어 상기 등가 커패시턴스를 조정하는 조정 커패시터와, 레그 전압원과 상기 레그 전압원과 직렬로 연결된 두 개의 스위치들과, 상기 두 개의 스위치들이 연결된 노드에 일 전극이 연결되고, 타 전극은 상기 조정 커패시터의 타 전극과 연결된 제1 인덕터 및 RF 레일과 연결되어 RF 전압이 애노드(anode)로 제공되고, 캐소드가 상기 제1 인덕터의 상기 타 전극에 연결되어 상기 애노드와 상기 캐소드 사이에 접합 커패시턴스가 형성되는 다이오드를 포함하고,상기 단위 레그와 병렬로 연결되는 병렬 인덕터; 및상기 등가 커패시턴스가 변화하도록 상기 레그를 제어하는 제어부를 포함하며, 상기 조정 커패시터의 커패시턴스는 상기 접합 커패시턴스에 비하여 5배 이상 큰 값을 가지는 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 임피던스 조정 회로는, 상기 병렬 인덕터와 직렬로 연결된 보상 전압원을 더 포함하는 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 대상 커패시터는 상기 RF 레일에 일 전극이 연결되고, 상기 기준 전압 레일에 타 전극이 연결된 것인 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서,상기 레그 전압원이 제공하는 전압의 크기는,RF 레일로 제공되는 RF 전압에 비하여 큰 것인 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 조정 커패시터의 커패시턴스는,상기 접합 커패시턴스에 비하여 7배 이상 큰 값을 가지는 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 조정 커패시터는, 상기 다이오드를 통하여 상기 대상 커패시터와 병렬로 연결되어 상기 등가 커패시턴스가 조절되는 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 두 개의 스위치들은, 상기 기준 전압 레일에 연결된 제1 스위치와,상기 레그 전압원과 연결된 제2 스위치를 포함하며, 상기 제2 스위치가 차단되고, 상기 제1 스위치가 도통될 때 상기 조정 커패시터와 상기 대상 커패시터가 등가적으로 병렬로 연결되어 상기 등가 커패시턴스가 조절되는 임피던스 조정 회로.

제7항에 있어서, 상기 제1 스위치가 차단되고, 상기 제2 스위치가 도통될 때 상기 조정 커패시터는 상기 대상 커패시터와 연결이 등가적으로 차단되는 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 단위 레그는 복수개가 병렬로 연결된 임피던스 조정 회로.

제9항에 있어서, 상기 복수개의 상기 단위 레그들에 포함된 상기 조정 커패시터들은,서로 다른 커패시턴스를 가지는 임피던스 조정 회로.

제9항에 있어서, 상기 복수개의 상기 단위 레그들에 포함된 상기 조정 커패시터들은,서로 동일한 커패시턴스를 가지는 임피던스 조정 회로.

제9항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 복수개의 상기 단위 레그들 중 어느 하나 이상에 포함된 상기 조정 커패시터를 상기 대상 커패시터에 등가적으로 연결하도록 제어하는 임피던스 조정 회로.

제1항에 있어서, 상기 다이오드는 PIN 다이오드인 임피던스 조정 회로.