| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 기판을 제작하는 단계; 및상기 기판 상에, 하나 이상의 유기 박막과 무기 박막이 교대로 적층된 하이브리드 구조의 다중 배리어층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 다중 배리어층을 형성하는 단계에서, 최외곽층에 유기 박막이 적층되도록 형성하고, 상기 무기 박막의 두께가 10nm 내지 1μm로 형성되고, 상기 유기 박막의 두께가 30nm 내지 50μm로 형성되고, 상기 기판 상에 제1 유기 박막을 형성하고, 상기 제1 유기 박막 상에 제1 무기 박막을 형성하고, 상기 제1 무기 박막 상에 제2 유기 박막을 형성하고, 상기 제2 유기 박막 상에 제2 무기 박막을 형성하고, 상기 제2 무기 박막 상에 제3 유기 박막을 형성하는 방식으로 상기 다중 배리어층을 형성하고, 상기 유기 박막은 실라머(silamer)로 이루어지고, 상기 무기 박막은 Al2O3 로 이루어지고, 상기 다중 배리어층은 Silamer/Al2O3/Silamer/Al2O3/Silamer 적층 구조로 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기소자의 봉지 배리어 제조 방법. |
| 10 | 기판; 및상기 기판 상에 형성되며, 하나 이상의 유기 박막과 무기 박막이 교대로 적층된 하이브리드 구조의 다중 배리어층을 포함하며, 상기 다중 배리어층은 최외곽층에 유기 박막이 적층되도록 형성되는 것이고,상기 무기 박막의 두께가 10nm 내지 1μm로 형성되고, 상기 유기 박막의 두께가 30nm 내지 50μm로 형성되고, 상기 다중 배리어층은 상기 기판 상에 형성된 제1 유기 박막, 상기 제1 유기 박막 상에 형성된 제1 무기 박막, 상기 제1 무기 박막 상에 형성된 제2 유기 박막, 상기 제2 유기 박막 상에 형성된 제2 무기 박막 및 상기 제2 무기 박막 상에 형성된 제3 유기 박막을 포함하여 이루어지고, 상기 유기 박막은 실라머(silamer)로 이루어지고, 상기 무기 박막은 Al2O3 로 이루어지고, 상기 다중 배리어층은 Silamer/Al2O3/Silamer/Al2O3/Silamer 적층 구조로 구현되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 유기소자의 봉지 배리어. |
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