티탄산바륨 혼합분말 및 그 제조방법
Barium titanate mixed powder and manufacturing method thereof
특허 요약
본 발명은 BaTiO 3 분말의 입자 표면에 MLCC의 유전체 첨가제가 코팅되어 있는 BaTiO 3 혼합분말, 이의 제조 방법 및 상기 BaTiO 3 혼합분말을 이용한 MLCC에 관한 것이다. 구체적으로, 본 발명은 양이온 주입 기반 원자레벨 격자조작에 의해 제조된 평균입경 5 nm 이하의 MLCC의 유전체 첨가제가 코팅된 BaTiO 3 혼합분말을 제조함으로써, 기존 공법에 비해 분산성, 평활성, 균일성 및 생산성이 크게 증가된 초박층 박막을 제조하는 것이 가능하며, MLCC와 같은 칩에 적용할 경우, 입계 내 균일하면서도 얇은 유전체와 첨가제의 반응 상을 형성하여 전기적 특성 및 칩 신뢰성이 크게 개선되는 효과를 가질 수 있다.
청구항
번호청구항
1

평균 입경이 1 내지 3 nm이고, Y, Dy, Ho, Er, Yb, K, Ba, Ca, Sm, Gd, Ti, V, Al, Si, Mn, Ni, Co, Cr, Bi, Zr, Mg, Ga 및 P로 구성된 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속산화물인 MLCC의 유전체 첨가제로서,상기 MLCC의 유전체 첨가제는 금속산화물 입자의 격자 내에 양이온을 주입하여 격자 조작을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 MLCC의 유전체 첨가제; 및평균 입경이 50 내지 100 nm인 BaTiO3 분말;을 포함하고,상기 BaTiO3 분말의 입자 표면에 MLCC의 유전체 첨가제가 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는, 티탄산바륨 혼합분말.

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  1. 평균 입경이 1 내지 3 nm이고, Y, Dy, Ho, Er, Yb, K, Ba, Ca, Sm, Gd, Ti, V, Al, Si, Mn, Ni, Co, Cr, Bi, Zr, Mg, Ga 및 P로 구성된 군으로부터 선택되는 1종 이상의 금속산화물인 MLCC의 유전체 첨가제를 유기용매에 분산시키는 단계; 및2) 분산된 첨가제들을 수열합성 직후의 평균 입경이 50 내지 100 nm인 BaTiO3 분말과 혼합하는 단계;를 포함하고,상기 MLCC의 유전체 첨가제는 금속산화물 입자의 격자 내에 양이온을 주입하여 격자 조작을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는, 티탄산바륨 혼합분말의 제조 방법.
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제4항에 있어서,상기 단계 1)의 MLCC의 유전체 첨가제는 고형분 함량이 1 내지 30%인 것을 특징으로 하는, 티탄산바륨 혼합분말의 제조 방법.

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제4항에 있어서,상기 단계 2)의 BaTiO3 분말은 공여체(Donor)가 도핑되어 있지 않은 절연체성 BaTiO3 분말 또는 공여체(Donor)가 도핑된 반도체성 BaTiO3 분말인 것을 특징으로 하는, 티탄산바륨 혼합분말의 제조 방법.

9

제1항에 따른 티탄산바륨 혼합분말을 포함하는 박막 시트.

10

제1항에 따른 티탄산바륨 혼합분말을 포함하는 유전체층을 이용한 적층 세라믹 콘덴서(Multi Layer Ceramic Condencer, MLCC).