| 번호 | 청구항 |
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| 7 | 제 1항에 있어서,상기 반응용기는 밀폐형이며, 상기 반응용기 내부의 압력을 조절하는 압력조절부를 더 포함하는 나노입자 제조 장치. |
| 8 | 제 1항에 있어서,상기 초음파 발생기에서 발생하는 초음파 주파수 및 출력을 제어하는 반응장 크기 제어부를 더 포함하는 나노입자 제조 장치. |
| 3 | 제 1항에 있어서,제1측면에 구비된 초음파 발생기에 의한 제1 횡파와 제2측면에 구비된 발생기에 의한 제2 횡파에 의해 둘 이상의 반응장이 구획되는 나노입자 제조 장치. |
| 4 | 제 1항에 있어서,상기 둘 이상의 반응장은 메쉬 형태인 나노입자 제조 장치. |
| 5 | 제 1항에 있어서,상기 다각 용기의 바닥면에 초음파 발생기가 더 위치하는 나노입자 제조 장치. |
| 6 | 제 1항에 있어서,상기 나노입자 제조 장치는 상기 전구체 액을 가열하는 가열부재를 더 포함하는 나노입자 제조 장치. |
| 1 | 나노입자 제조 장치로,나노입자를 합성하기 위한 전구체 액이 담기는 다각 용기인 반응용기; 및상기 다각 용기의 제1측면과 제2측면을 포함하는 두 측면 각각에 위치하여 초음파를 발생하는 초음파 발생기;를 포함하며,상기 초음파 발생기에 의해 발생하는 전구체 액내 횡파(transverse wave)간의 간섭에 의해 둘 이상의 반응장이 구획되며, 반응장 각각에서 나노입자의 합성이 이루어지는 나노입자 제조 장치. |
| 2 | 삭제 |
| 9 | 제 1항에 있어서,상기 반응용기는 투명용기이며, 상기 나노입자 제조 장치는 상기 전구체 액에 서로 상이한 파장을 갖는 복수의 광을 조사하는 광원부; 및 상기 전구체 액을 투과한 투과광 및 산란광을 검출하는 광 검출부;를 더 포함하는 나노입자 제조 장치. |
| 10 | 제 1항 및 제 3항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 나노입자 제조 장치를 이용한 나노입자 제조 방법. |
| 11 | a) 나노입자를 합성하기 위한 전구체 액이 담기는 다각 용기인 반응용기 및 상기 다각 용기의 제1측면과 제2측면을 포함하는 두 측면 각각에 위치하여 초음파를 발생하는 초음파 발생기를 포함하는 나노입자 제조 장치를 이용하여, 상기 나노입자 합성을 위한 전구체 액에 서로 직교하는 제1 횡파와 제2 횡파가 발생하도록 초음파를 인가하여, 제1 횡파와 제2 횡파에 의해 구획되는 다수개의 반응장을 형성하는 단계; 및b) 상기 다수개의 반응장 별로 나노입자를 합성하는 단계;를 포함하는 나노입자 제조 방법. |
| 12 | 제 11항에 있어서,상기 a) 단계에서, 전구체 액이 담긴 반응 용기의 두께 방향으로 진행하는 제 3 횡파가 발생하도록 초음파가 더 인가되어, 제1 횡파, 제2 횡파 및 제 3횡파에 의해 3차원적으로 반응장이 구획되는 나노입자 제조 방법. |
| 13 | 제 11항에 있어서,상기 반응장의 크기, 상기 전구체 액의 온도, 상기 전구체 액 내 물질의 농도 및 상기 전구체 액에 인가되는 압력에서 하나 또는 둘 이상 선택되는 합성 제어 인자를 조절하여, 나노입자의 크기, 분포 및 형상에서 하나 이상 선택되는 물성이 제어되는 나노입자 제조 방법. |
| 14 | 제 11항에 있어서,상기 반응장의 크기는 상기 전구체 액에 인가되는 초음파의 주파수, 출력 또는 주파수와 출력에 의해 제어되는 나노입자 제조 방법. |