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번호	청구항
18	제11항에 있어서,상기 합금 코팅층을 시드 코팅층 상에 코팅하는 단계는,상기 합금 코팅층의 두께를 6 내지 30μm 범위 내로 코팅하는 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
17	제13항에 있어서, 상기 합금 코팅층의 열팽창계수는,8.5 내지 15.5ppm/℃인 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
1	유리 관통 비아(Through Glass Via, TGV)를 포함하는 유리 기판;제1 금속 물질 및 제2 금속 물질로 이루어진 합금을 포함하여 상기 유리 관통 비아의 내벽에 코팅되는 합금 코팅층; 및상기 합금 코팅층 상에 위치하여 상기 유리 관통 비아를 충진하는 도전 물질; 을 포함하는TGV 기판.
2	제1항에 있어서, 상기 합금 코팅층의 열팽창계수는,상기 도전 물질과 상기 유리 기판의 열팽창계수 사이인 것을 특징으로 하는 TGV 기판.
3	제2항에 있어서,상기 도전 물질은,Cu인 것을 특징으로 하는TGV 기판.
4	제3항에 있어서,상기 제1 금속 물질은,Ni인 것을 특징으로 하는TGV 기판.
5	제4항에 있어서,상기 제2 금속 물질은,Fe인 것을 특징으로 하는TGV 기판.
6	제5항에 있어서, 상기 합금 코팅층은,상기 제1 금속물질 및 상기 제2 금속물질의 원자비율이 1:3 내지 1:0.5 범위 내인 것을 특징으로 하는TGV 기판.
7	제3항에 있어서, 상기 합금 코팅층의 열팽창계수는,8.5 내지 15.5ppm/℃인 것을 특징으로 하는TGV 기판.
8	제1항에 있어서,상기 합금 코팅층의 두께는,6 내지 30μm인 것을 특징으로 하는TGV 기판.
9	제1항에 있어서,상기 합금 코팅층은,제1 금속 물질을 포함하여 유리 관통 비아 내벽에 형성되는 시드 코팅층으로부터 형성되며,상기 시드 코팅층은, 무전해 도금(electroless deposition)으로 증착되는 것을 특징으로 하는TGV 기판.
10	제9항에 있어서,상기 합금 코팅층은,전해 도금(electro-deposition)으로 증착되는 것을 특징으로 하는TGV 기판.
11	유리 기판을 마련하는 단계;상기 유리 기판에 유리 관통 비아(Through Glass Via, TGV)를 형성하는 단계;제1 금속 물질을 포함하는 시드 코팅층을 상기 유리 관통 비아의 내벽에 코팅하는 단계; 상기 시드 코팅층을 기반으로 상기 제1 금속 물질 및 제2 금속 물질로 이루어진 합금을 포함하는 합금 코팅층을 코팅시키는 단계; 및상기 합금 코팅층 상에 도전 물질을 채워 상기 유리 관통 비아를 충진하는 단계; 를 포함하는TGV 기판 제조 방법.
12	제11항에 있어서, 상기 합금 코팅층의 열팽창계수는,상기 도전 물질과 상기 유리 기판의 열팽창계수 사이인 것을 특징으로 하는 TGV 기판 제조 방법.
13	제12항에 있어서,상기 도전 물질은,Cu인 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
14	제13항에 있어서,상기 제1 금속 물질은,Ni인 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
15	제14항에 있어서,상기 제2 금속 물질은,Fe인 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
16	제15항에 있어서, 상기 합금 코팅층은,상기 제1 금속물질 및 상기 제2 금속물질의 원자비율이 1:3 내지 1:0.5 범위 내인 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
19	제11항에 있어서,상기 시드 코팅층을 상기 유리 관통 비아의 내벽에 코팅하는 단계는,무전해 도금(electroless deposition)으로 상기 시드 코팅층을 증착하는 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.
20	제19항에 있어서,상기 합금 코팅층을 시드 코팅층 상에 코팅하는 단계는,전해 도금(electro-deposition)으로 상기 합금 코팅층을 증착하는 것을 특징으로 하는TGV 기판 제조 방법.