콘크리트 환경의 실시간 습도 검출을 위한 습도센서 제조방법
METHOD FOR FABRICATING CORROSION SENSOR FOR REAL TIME DETECTION OF CONCRETE ENVIRONMENT
특허 요약
콘크리트 환경에서 사용되는 내식성이 우수한 센서 제조방법은 아래의 단계로 이루어진다. 실리콘 모재를 준비하는 단계; 상기 실리콘 모재에 다공성 구조를 형성하는 단계; 상기 다공성 실리콘 모제에 고내식성의 질화 실리콘을 증착하는 단계.
청구항
| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 실리콘 모재를 준비하는 단계;상기 실리콘 모재에 다공성 구조를 형성하는 단계; 및상기 다공성 실리콘 모제에 고내식성의 질화 실리콘을 증착하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘크리트 환경의 실시간 습도 검출을 위한 습도센서 제조방법. |
| 2 | 청구항 1에 있어서, 상기 실리콘 모재에 다공성 구조를 형성하는 단계가 전기화학적 방법으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘크리트 환경의 실시간 습도 검출을 위한 습도센서 제조방법. |
| 3 | 청구항 1에 있어서,상기 질화 실리콘을 형성하는 단계가 원자층증착에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘크리트 환경의 실시간 습도 검출을 위한 습도센서 제조방법. |
