실리콘 기판에 고응력을 갖는 금속 박막을 증착하는 단계;상기 금속 박막과 실리콘 기판 사이의 고응력에 의해 실리콘 기판으로부터 상기 금속 박막과 실리콘의 박막의 결합체가 박리되는 단계;상기 결합체에서 상기 금속 박막을 제거하여 박형 실리콘을 형성하는 단계;상기 박형 실리콘을 산화하여 산화 실리콘을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판을 이용한 유연 습도센서 소자 제조방법.

청구항 1에 있어서, 상기 실리콘 기판이 단결정 실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판을 이용한 유연 습도센서 소자 제조방법.

청구항 1에 있어서, 상기 금속 박막이 전기도금에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판을 이용한 유연 습도센서 소자 제조방법.

청구항 1에 있어서, 상기 박형 실리콘에 다공성 구조를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판을 이용한 유연 습도센서 소자 제조방법.

청구항 4에 있어서, 상기 박형 실리콘에 다공성 구조를 형성하는 단계가 Metal Assisted Chemical Etching(MACE) 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판을 이용한 유연 습도센서 소자 제조방법.

청구항 1에 있어서,상기 박형 실리콘을 산화하여 산화 실리콘을 형성하는 단계가 공기 분위기에서 열처리를 통한 상변화에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 기판을 이용한 유연 습도센서 소자 제조방법.