| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 전해연마 대상물을 준비하는 단계;상기 대상물을 유기산과 무기산을 포함하는 산 혼합액에 투입하는 단계;전해연마를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 2 | 청구항 1에 있어서,상기 전해연마가, 전압이 증가하여도 전류가 감소하거나 변화가 적은 구간(passivation region)에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 3 | 청구항 2에 있어서,상기 무기산이 인산인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 4 | 청구항 3에 있어서, 상기 유기산이 글리콜산, 젖산(lactic acid), 구연산(citric acid), 타타르산(tartaric acid), 옥살산(oxalic acid), 사과산(malic acid), 숙신산(succinic acid), 글루타르산(glutaric acid), 푸마르산(fumaric acid), 옥살아세트산(oxaloacetic acid), 글루콘산(gluconic acid) 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 5 | 청구항 4에 있어서, 상기 유기산이 글리콜산, 젖산 또는 구연산 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 6 | 청구항 5에 있어서, 상기 유기산이 글리콜산이고 글리콜산의 농도가 3.5 |
| 7 | 청구항 5에 있어서, 상기 유기산이 젖산이고 젖산의 농도가 4.5~9.1M이며 상기 인산의 농도가 2.9M인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 8 | 청구항 5에 있어서, 상기 유기산이 구연산이고 구연산의 농도가 3.5 |
| 9 | 청구항 1에 있어서,상기 전해연마 대상물이 구리인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 10 | 청구항 1에 있어서,상기 전해연마가 0.6~2.0V 범위 전압에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 11 | 청구항 1에 있어서,상기 전해연마 용액의 pH가 -1.5~0인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 12 | 청구항 1에 있어서,상기 전해연마가 30℃에서 5C/cm2의 전하량을 인가하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
| 13 | 청구항 1에 있어서,상기 산 혼합액의 동점도가 5cSt 이상인 것을 특징으로 하는 산 혼합액을 이용한 금속 전해연마 방법. |
