| 번호 | 청구항 |
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| 6 | 제4항에 있어서,상기 조절 배관의 일측에 위치되어, 압력을 측정하는 압력계를 더 포함하는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 7 | 제6항에 있어서,상기 압력계는 상기 버퍼 부재와 상기 측정 모듈의 사이 구간에 위치되는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 8 | 제1항에 있어서,상기 압력 조절 모듈의 동작을 제어하여, 상기 측정 모듈에 인가되는 압력을 조절하는 제어기를 더 포함하는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 1 | 측정 대상 물체와 접하게 위치되어 측정 대상 물체의 진동 상태를 감지하는 측정 모듈;상기 측정 모듈에 결합되는 조절 배관; 및상기 조절 배관에 연결되어, 압력을 조절하는 압력 조절 모듈을 포함하되,상기 측정 모듈은,상하 방향으로 마주보게 위치되는 상부 하우징부 및 하부 하우징부를 포함하고, 내측에 기 설정 체적의 공간을 형성하는 측정부 하우징; 및상기 측정부 하우징의 내측에 위치되어 진동을 감지하는 측정 부재를 포함하는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 측정 부재는 압전 소자로 제공되는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 압력 조절 모듈은,상기 조절 배관의 일측에 연결되어, 조절 배관에 압력을 인가하는 가압 펌프; 및상기 조절 배관의 일측에 위치되어, 상기 조절 배관의 대역 조절용 유체를 배출하여 압력이 하강 되게 하는 배출 밸브를 포함하는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 조절 배관의 일측에 위치되고, 내측에 기 설정 체적의 공간을 가지고 상기 대역 조절용 유체를 수용하는 버퍼 부재를 더 포함하는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 5 | 제4항에 있어서,상기 버퍼 부재는 상기 압력 조절 모듈과 상기 측정 모듈의 사이 구간에 위치되는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치. |
| 9 | 상하 방향으로 마주보게 위치되는 상부 하우징부 및 하부 하우징부를 포함하고, 내측에 기 설정 체적의 공간을 형성하는 측정부 하우징 및 상기 측정부 하우징의 내측에 위치되어 진동을 감지하는 측정 부재를 포함하는 측정 모듈에 주파수를 알고 있는 측정 대상 주파수를 포함하는 레퍼런스 신호를 인가하는 단계;상기 측정부 하우징의 내측 공간의 압력을 가변 시키는 단계; 및상기 측정부 하우징의 압력이 변하는 과정에서 상기 측정 모듈에서 수신되는 신호의 강도를 통해, 상기 레퍼런스 신호에 포함된 측정 대상 주파수가 검출되는 압력 값을 측정용 압력 값으로 추출하는 단계를 포함하는 측정 대역 조절 가능한 센서 장치의 제어 방법. |
