자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법
Self-aligning microwire formation method
특허 요약
본 발명은 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법은 기판의 2차원 물질층에 마이크로 와이어 형성 물질을 도포하는 단계; 및 상기 마이크로 와이어 형성 물질을 건조시켜, 상기 2차원 물질층의 표면에 자가 정렬 마이크로 와이어를 형성하는 단계를 포함한다.
청구항
번호청구항
7

제1항에 있어서,상기 마이크로 와이어 형성 물질은 스핀 코팅 방식으로 상기 기판에 도포되는 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

1

기판의 2차원 물질층에 마이크로 와이어 형성 물질을 도포하는 단계; 및상기 마이크로 와이어 형성 물질을 건조시켜, 상기 2차원 물질층의 표면에 자가 정렬 마이크로 와이어를 형성하는 단계를 포함하되,상기 자가 정렬 마이크로 와이어 형성 물질이 도포될 때,상기 기판은 기 설정 온도로 가열된 상태로 제공되는 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

2

제1항에 있어서,상기 자가 정렬 마이크로 와이어는 사이안화은인 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

3

제1항에 있어서,상기 마이크로 와이어 형성 물질은 암모니아수 및 사이안화은을 포함하는 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

4

제3항에 있어서,상기 마이크로 와이어 형성 물질은 알코올을 더 포함하는 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

5

제4항에 있어서,상기 알코올은 에탄올인 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

6

제5항에 있어서,상기 알코올과 상기 암모니아수의 용량비는 6:4 내지 7:3인 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

8

제7항에 있어서,상기 마이크로 와이어 형성 물질이 도포될 때 상기 기판의 각 가속도는 10.5 내지 20.9rev s-2인 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.

9

삭제

10

제1항에 있어서,상기 2차원 물질층은 그래핀, 이황화 몰리브덴, 육방정 질화 붕소, 이황화 텅스텐, 텅스텐 셀렌화물 중 하나인 자가 정렬 마이크로 와이어 형성방법.