펠리클 세정 방법이 제공된다. 상기 펠리클 세정 방법은, 펠리클 멤브레인을 갖는 펠리클이 준비되는 단계, 및 상기 펠리클 멤브레인 상에 프로브가 인접하여 상기 펠리클 멤브레인 상의 오염물이 상기 프로브에 접착되어 제거되는 단계를 포함할 수 있다.