| 번호 | 청구항 |
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| 12 | 실리카 나노 입자를 마그네슘 열 환원법으로 마그네슘 산화물이 표면에 둘러싸인 실리콘 나노 입자를 형성시키는 단계; 및 상기 실리콘 나노입자와 아미노프로필트리에톡시실란(APTES)를 결합시켜 표면 개질된 실리콘 나노 입자를 제조하는 단계;를 포함하는,하기 화학식 1로 표시되는 기능기로 표면 개질된 다공성 실리콘 나노 입자 입자의 제조방법:[화학식 1]상기 화학식 1에서 산소 라디칼은 실리콘 나노 입자 내 실리콘(Si)과 결합한다. |
| 13 | 제 12 항에 있어서,아미노프로필트리에톡시실란(APTES)를 결합시키기 전 파라나 용액으로 마그네슘 산화물이 표면에 둘러싸인 실리콘 나노 입자의 표면을 히드록시기로 치환시키는 단계를 추가로 포함하는 실리콘 나노 입자의 제조방법. |
| 14 | 청구항 12의 방법으로 제조된 하기 화학식 1로 표시되는 기능기로 표면 개질된 다공성 실리콘 나노 입자:[화학식 1]상기 화학식 1에서 산소 라디칼은 실리콘 나노 입자 내 실리콘(Si)과 결합한다. |