| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 일정 각도를 두고 배치되는 레이저 발광부와 수신부가 구성되어 박막두께 측정 프로브를 통해 박막의 두께를 측정하는 엘립소미터(Ellipsometery); 상기 레이저 발광부와 상기 수신부의 사이 공간부에 배치되어 미세형상 측정 프로브를 통해 3차원 형상을 측정하는 현미경; 및 상기 엘립소미터로부터 측정되는 상기 박막두께 측정 프로브의 정렬용 기준과 상기 현미경으로부터 측정되는 상기 미세형상 측정 프로브의 정렬용 기준이 동심원 형태로 구성되는 표준시편을 포함하고, 상기 표준시편을 이용하여 상기 박막두께 측정 프로브와 상기 미세형상 측정 프로브의 측정점을 일치시켜 동일위치 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 장치. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 엘립소미터는 상기 3차원 형상의 4 곳의 두께를 측정하여 두께 데이터 세트를 획득하는 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 장치. |
| 3 | 삭제 |
| 4 | 제1항에 있어서, 상기 엘립소미터로부터 측정된 측정 데이터와 상기 현미경으로부터 측정된 측정 데이터의 자세를 교정하도록, 상기 현미경으로부터 측정된 데이터를 기반으로 회귀평면을 생성하고, 상기 엘립소미터로부터 측정된 데이터를 상기 회귀평면에 피팅시키는 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 장치. |
| 5 | 제1항에 있어서, 상기 현미경은 공초점 현미경(Confocal Laser Scanning Microscopy; CLSM)인 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 장치. |
| 6 | 엘립소미터의 박막두께 측정 프로브를 통해 박막의 두께를 측정하고, 상기 엘립소미터의 레이저 발광부와 수신부의 사이 공간부에 현미경이 배치되어 미세형상 측정 프로브를 통해 3차원 형상을 측정하는 단계; 상기 박막두께 측정 프로브와 상기 미세형상 측정 프로브의 위치를 교정하여 동일위치에서 각각의 측정 데이터를 획득하는 단계; 및 획득한 두 개의 상기 측정 데이터의 자세를 교정하는 단계를 포함하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 방법. |
| 7 | 제6항에 있어서, 상기 엘립소미터는 상기 3차원 형상의 4 곳의 두께를 측정하여 두께 데이터 세트를 획득하는 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 방법. |
| 8 | 제 6항에 있어서, 상기 동일위치에서 각각의 측정 데이터를 획득하는 단계는 상기 엘립소미터로부터 측정되는 상기 박막두께 측정 프로브의 정렬용 기준과 상기 현미경으로부터 측정되는 상기 미세형상 측정 프로브의 정렬용 기준이 동심원 형태로 구성되는 표준시편을 이용하여, 상기 박막두께 측정 프로브와 상기 미세형상 측정 프로브의 측정점을 일치시켜 상기 동일위치 측정이 가능한 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 방법. |
| 9 | 제6항에 있어서, 상기 측정 데이터의 자세를 교정하는 단계는 상기 현미경으로부터 측정된 데이터를 기반으로 회귀평면을 생성하고, 상기 엘립소미터로부터 측정된 데이터를 상기 회귀평면에 피팅시키는 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 방법. |
| 10 | 제6항에 있어서, 상기 현미경은 공초점 현미경(Confocal Laser Scanning Microscopy; CLSM)인 것을 특징으로 하는 멀티프로브 기반의 3차원 형상 및 박막두께의 동일위치 측정 방법. |
