| 번호 | 청구항 |
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| 2 | 제1항에 있어서,상기 미세유체 시스템(100)은 액적이 연속 이동하는 채널(110)이 하나 이상 형성된 것을 더 포함한 플라즈마 활성수를 제조하기 위한 장치. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 미세유체 시스템(100)은 비활성기체의 공급 기속이 선택적 가변되는 것을 더 포함한 플라즈마 활성수를 제조하기 위한 장치. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 마이크로플라즈마 제조부(200)는 고전압의 전압이 선택적 가변되는 것을 더 포함한 플라즈마 활성수를 제조하기 위한 장치. |
| 1 | 연속상(s1)에 비활성기체를 공급하고, 분산상(s2)에 다양한 종류의 구성요소를 포함한 수용액을 공급하면서 수용액과 기체가 혼합되는 액적이 연속 이동하는 미세유체 시스템(100)과;상기 미세유체 시스템(100)을 통해 이동하는 액적이 미세튜브(210)에 통과되게 하는데, 상기 미세튜브(210) 내에 고전압을 흐르게 하면서 플라즈마 구간을 형성되게 하고, 상기 플라즈마 구간을 액적이 통과하면서 플라즈마 활성수를 생성되게 하는 마이크로플라즈마 제조부(200)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 활성수를 제조하기 위한 장치. |
| 5 | 제1항에 있어서,상기 마이크로플라즈마 제조부(200)는 미세튜브(210)의 길이를 선택적 가변시키는 것을 더 포함한 플라즈마 활성수를 제조하기 위한 장치. |
| 6 | 제1항에 있어서,상기 마이크로플라즈마 제조부(200)는 외부 전원공급장치로부터 고전압을 인가하기 위한 전극이 되는 전도성테이프(221)와;상기 전도성테이프(221)의 끝단에 감겨 있으며, 내측으로 미세튜브(210)가 삽입 지지되는 컷팅튜브(222)를 더 포함한 플라즈마 활성수를 제조하기 위한 장치. |