수소 검출용 가스 센서 및 수소 검출용 가스 센서 제조방법
Gas sensor for detecting hydrogen gas and method of manufacturing the same
특허 요약
본 발명은 수소에 대해 선택적 감지 능력이 있는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스센서에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예를 따르는 가스 센서는 나노와이어 코어; 및 상기 나노와이어 표면을 감싸는 멤브레인;을 포함하고, 상기 나노와이어는 산화아연이되, 상기 멤브레인은 특정 크기의 분자를 걸러내는 체 구조(molecular sieving structure)를 갖는다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 나노와이어 코어; 및 상기 나노와이어 코어 표면을 감싸는 멤브레인;을 포함하고, 상기 나노와이어 코어는 산화아연이고, 상기 멤브레인은 특정 크기의 분자를 걸러내는 체 구조(molecular sieving structure)를 갖고, 상기 멤브레인은 ZIF-8, ZIF-7 및 ZIF-90 중 적어도 하나이고, 상기 멤브레인의 두께는 50 내지 500 nm이고, 각각의 농도가 10 내지 50 ppm인 수소, 톨루엔 및 벤젠으로 이루어지는 환원성 기체 분자 중 수소에 대해 선택적 감지 능력이 있는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스센서. |
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| 4 | 제 1항에 있어서, 상기 나노와이어와 연결된 전극; 및상기 전극의 일면에 배치된 기판;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서. |
| 5 | 제 4항에 있어서, 상기 나노와이어는 상기 전극으로부터 성장하도록 형성된 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서. |
| 6 | ZIF-8, ZIF-7 및 ZIF-90 중 적어도 하나를 형성하기 위한 멤브레인 전구체 용액을 준비하는 단계(단계 1); 및산화아연 나노와이어 코어가 형성된 가스센서를 상기 단계 1의 전구체 용액에 침지하고, 열처리하여 멤브레인 쉘을 상기 나노와이어 코어에 형성하는 단계(단계 2);를 포함하고, 상기 멤브레인 전구체 용액은 메탄올을 용매로 하여 2-메틸 이미다졸(2-methyl imidazole, 2-mim)이 10 중량%로 용해된 것을 특징으로 하는 제1항의 수소 검출용 가스센서 제조방법. |
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