Au, Pt 및 Pd 금속입자로 기능화된 ZnO 나노선의 상온 감응 특성을 이용한 가스센서 및 그 제조 방법
ZnO nanowire gas sensor functionalized with Au, Pt and Pd nanoparticle using room temperature sensing properties and method of manufacturing the same
특허 요약
본 발명은 특정 가스에 대해 선택적 감지 능력이 있는 것을 특징으로 하는 가스센서에 관한 것으로, 본 발명의 실시 예를 따르는 가스 센서는 금속 나노입자가 표면에 배치된 산화아연 나노와이어를 포함하고, 상기 금속 나노입자는 금(Au), 백금(Pt) 및 팔라듐(Pd)중 적어도 하나이고, 각각 이산화탄소, 톨루엔 및 벤젠 기체에 대해 선택적으로 감응한다.
청구항
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| 15 | 팔라듐 전구체 용액을 준비하는 단계(단계 1);산화아연 나노와이어를 포함하는 가스 센서를 상기 단계 1의 팔라듐 전구체 용액에 침지시킨 후, 자외선을 조사하는 단계(단계 2); 및상기 단계 2에서 감마선이 조사된 산화아연 나노와이어를 포함하는 가스센서를 열처리하여 팔라듐 나노입자를 상기 나노와이어 상에 형성하는 단계(단계 3);를 포함하는 벤젠을 선택적으로 감지하는 가스 센서 제조방법. |
| 16 | 제 15항에 있어서, 상기 단계 2의 자외선 조사는 1초 내지 5분 조사되는 것을 특징으로 하는 벤젠을 선택적으로 감지하는 가스센서 제조방법. |
| 17 | 제 15항에 있어서, 상기 단계 2의 자외선 조사는 0.11 mW/Cm2 내지 3.0 mW/Cm2 조사량으로 조사되는 것을 특징으로 하는 벤젠을 선택적으로 감지하는 가스센서 제조방법. |
