코어-쉘(core-shell)구조를 포함하는 금속 산화물 나노로드(nanorod)를 포함하는 감마선 검출센서
Gamma radiation Sensor using core-shell metal oxide nanorod
특허 요약
본 발명은 본 발명은 코어-쉘(core-shell)구조를 포함하는 금속 산화물 나노로드(nanorod)를 포함하는 감마선 검출센서, 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는 기판; 상기 기판상에 서로 이격된 2 개의 전극층;및 상기 전극층 상에 형성시킨 제1 금속 산화물을 포함하는 로드(rod)형 코어 및 상기 코어 상에 형성된 제2 금속 산화물을 포함하는 로드(rod)형 쉘을 포함하는 코어-쉘 구조를 포함하는 금속 산화물 나노로드(nanorod);를 포함하는 감마선 검출센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 상기 코어-쉘(core-shell)구조를 포함하는 금속 산화물 나노로드를 포함하는 감마선 검출센서는 감마선에 대해 보다 우수한 감응성을 가지는 감마선 검출센서를 제공하며, 또한, 다양한 분야에서 유용하게 이용될 수 있다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 기판; 상기 기판상에 서로 이격된 2 개의 전극층;및상기 전극층 상에 형성시킨 SnO2를 포함하는 로드(rod)형 코어 및 상기 코어 상에 형성된 ZnO를 포함하는 로드(rod)형 쉘을 포함하며, 상기 쉘은 3.5 nm 내지 90 nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 코어-쉘(core-shell)구조를 포함하는 금속 산화물 나노로드(nanorod)를 포함하는 감마선 검출센서. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 제1항에 있어서, 상기 쉘은 그 표면에 금속입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 감마선 검출센서. |
| 4 | 제3항에 있어서, 상기 금속입자의 직경은 10 내지 30 nm인 것을 특징으로 하는 감마선 검출센서. |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 삭제 |
| 7 | 삭제 |
| 8 | 삭제 |
| 9 | 기판을 준비하는 단계(단계 1); 상기 기판상에 서로 이격된 2 개의 전극층을 형성하는 단계(단계 2);및상기 전극층 상에 SnO2를 포함하는 로드형 코어를 형성하고, 상기 코어 상에 ZnO를 포함하는 로드형 쉘을 형성하여, 코어-쉘 구조의 금속 산화물 나노로드를 포함하는 센싱부를 형성하는 단계(단계 3);를 포함하며,상기 쉘은 3.5 nm 내지 90 nm의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 감마선 검출센서의 제조방법. |
| 10 | 삭제 |
