수소 검출용 가스 센서
Gas Sensor for Hydrogen
특허 요약
본 발명은 수소 검출용 가스 센서에 관한 것으로, 제1 금속 산화물을 포함하는 금속 산화물부를 포함하고, 상기 제1 금속 산화물은 ZnO이고, 또한, 환원 그래인 옥사이드를 포함할 수 있고, 제2 금속 산화물을 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
1

ZnO 및 환원 그래핀 옥사이드(RGO: Reduced graphene Oxide)를 포함하는 금속 산화물부를 포함하고,상기 ZnO 및 환원 그래핀 옥사이드는 서로 접하는 그래인 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서.

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제1항에 있어서,상기 금속 산화물부에 함유된 상기 환원 그래핀 옥사이드의 함량은 0.44 wt% 이상인 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서.

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제1항에 있어서,상기 금속 산화물부는 나노 파이버 형태인 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서.

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제1항에 있어서,10 ppm 이하의 저농도를 검출하는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서.

10

환원 그래핀 옥사이드(RGO: Reduced graphene Oxide)를 포함하는 용액을 ZnO 전구체 용액과 혼합하는 단계; 및전기방사법을 이용해, 혼합된 용액으로부터 ZnO 및 환원 그래핀 옥사이드를 포함하는 금속 산화물부를 제조하는 단계;를 포함하고상기 금속산화물부의 ZnO 및 환원 그래핀 옥사이드는 서로 접하는 그래인 형태로 배치되는 것을 특징으로 하는 수소 검출용 가스 센서의 제조방법.