무가열 자기 활성 나노 와이어 가스 센서
Gas Sensor
특허 요약
본 발명은 가스 센서에 관한 것으로, 기판, 상기 기판 상에 배치된 전극, 상기 전극 상에 배치된 복수의 나노 와이어 및 상기 전극에 전류를 공급하는 전원부를 포함하고, 열 에너지 공급부를 포함하지 않으며, 상기 복수의 나노 와이어는 서로 교차하고, 제1 금속 산화물 및 상기 제1 금속 산화물을 둘러싸는 제2 금속 산화물을 포함하는 코어-쉘 구조를 가지고, 그 표면에 나노 입자를 포함한다.
청구항
번호청구항
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4

기판;상기 기판 상에 배치된 전극;상기 전극 상에 배치된 복수의 나노 와이어; 및상기 전극에 전류를 공급하는 전원부;를 포함하고, 상기 복수의 나노 와이어는 서로 교차하고, 제1 금속 산화물 및 상기 제1 금속 산화물을 둘러싸는 제2 금속 산화물을 포함하는 코어-쉘 구조를 가지고, 그 표면에 Pt 나노 입자를 포함하는. 톨루엔을 선택적으로 감지하는 것을 특징으로 하는 가스 센서.

5

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6

기판;상기 기판 상에 배치된 전극;상기 전극 상에 배치된 복수의 나노 와이어; 및상기 전극에 전류를 공급하는 전원부;를 포함하고, 상기 복수의 나노 와이어는 서로 교차하고, 제1 금속 산화물 및 상기 제1 금속 산화물을 둘러싸는 제2 금속 산화물을 포함하는 코어-쉘 구조를 가지고, 그 표면에 Au 나노 입자를 포함하는. CO를 선택적으로 감지하는 것을 특징으로 하는 가스 센서.

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8

기판;상기 기판 상에 배치된 전극;상기 전극 상에 배치된 복수의 나노 와이어; 및상기 전극에 전류를 공급하는 전원부;를 포함하고, 상기 복수의 나노 와이어는 서로 교차하고, 제1 금속 산화물 및 상기 제1 금속 산화물을 둘러싸는 제2 금속 산화물을 포함하는 코어-쉘 구조를 가지고, 그 표면에 Pd 나노 입자를 포함하는, 벤젠을 선택적으로 감지하는 것을 특징으로 하는 가스 센서.

9

제4항, 제6항 및 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가스 센서는 열 에너지 공급부를 포함하지 않는 것을 특징으로 하는 가스 센서.

10

제4항, 제6항 및 제8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 나노 와이어는 상기 전극으로부터 뻗어 나오도록 형성된 가스 센서.