청구항 1의 다기능 카본나노튜브 제조 장치를 이용한 카본나노튜브 제조 방법에 있어서,상기 기체공급부, 상기 액체공급부 또는 상기 고체공급부가 작동하여 원료가 상기 프리히팅부로 전달되는 원료공급단계;상기 프리히팅부에서 원료에 대한 사전 가열을 수행하는 사전가열단계;상기 프리히팅부에서 상기 합성부로 원료가 전달되고, 상기 합성부에서 카본나노튜브가 합성되는 합성단계; 및상기 수집부에서 생성된 카본나노튜브를 수집하는 수집단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 제조 방법.

기체 형태의 전구체인 기체원료를 공급하는 기체공급부;액체 형태의 전구체인 액체원료를 공급하는 액체공급부;고체 형태의 전구체인 고체원료를 공급하는 고체공급부;상기 기체공급부, 상기 액체공급부 및 상기 고체공급부 각각과 연결되고 통과하는 전구체를 사전 가열하는 프리히팅부;상기 프리히팅부로부터 사전 가열된 전구체를 전달받고, 카본나노튜브(CNT)를 합성하기 위해 전구체에 열을 제공하는 합성부; 및상기 합성부와 연결되고 상기 합성부에서 생성된 카본나노튜브를 수집하는 수집부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 1에 있어서,상기 고체공급부는,상기 고체원료를 공급하는 고체용공급기; 및상기 고체용공급기에서 전달된 상기 고체원료를 가열시키는 고체용히터;를 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 2에 있어서,상기 고체공급부는, 상기 고체용공급기로 유입되는 캐리어가스에 유로를 제공하는 캐리어가스관;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 3에 있어서,상기 고체공급부는, 상기 캐리어가스관과 결합하고 상기 캐리어가스관을 통과하여 상기 고체용공급기로 공급되는 캐리어가스에 유로를 제공하는 회전관;을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 4에 있어서,상기 고체공급부는, 상기 회전관과 결합하고, 상기 회전관을 회전시키는 구동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 1에 있어서,상기 액체공급부는, 액체원료를 공급하는 적어도 하나 이상의 액체용공급기;를 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 6에 있어서,상기 액체용공급기는, 시린지펌프인 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 1에 있어서,상기 기체공급부는, 캐리어가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 1에 있어서,상기 수집부는, 상기 합성부에서 생성된 생성물을 통과시켜 필터링을 수행하는 여과필터; 및상기 생성물의 유동 압력을 조절하는 펌프인 조절펌프;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 카본나노튜브 제조 장치.

청구항 10에 있어서,상기 원료공급단계에서, 상기 고체공급부에 구비되어 캐리어가스에 유로를 제공하는 고체가스관의 회전이 수행되는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 제조 방법.