| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 펌프;상기 펌프의 토출구와 연결되는 양압라인;상기 펌프의 흡입구와 연결되는 음압라인;상기 양압라인에 연결되고, 상기 양압라인을 통해 출력되는 양압의 크기를 조절하는 양압조절유닛; 및상기 음압라인에 연결되고, 상기 음압라인을 통해 출력되는 음압의 크기를 조절하는 음압조절유닛;을 포함하고,상기 양압조절유닛은,상기 양압라인에 연결되는 양압밸브; 및상기 양압밸브의 동작을 제어하는 양압프로세서;를 포함하고,상기 양압프로세서는,목표 양압과 상기 양압라인을 통해 출력되는 양압의 차이를 기초로 제1양압신호를 출력하는 양압제어기;상기 음압라인으로부터 출력되는 음압의 변화에 따라 발생되는 외란을 추정하는 양압외란관측부; 및상기 양압제어기로부터 출력된 상기 제1양압신호에서 상기 양압외란관측부로부터 추정된 상기 외란을 제거하여 제2양압신호를 출력하는 양압외란제거부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 2 | 삭제 |
| 3 | 제 1항에 있어서,상기 양압밸브는 상기 양압라인과 외부 대기의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 4 | 제 1항에 있어서,상기 양압밸브는 비례제어밸브인 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 5 | 삭제 |
| 6 | 펌프;상기 펌프의 토출구와 연결되는 양압라인;상기 펌프의 흡입구와 연결되는 음압라인;상기 양압라인에 연결되고, 상기 양압라인을 통해 출력되는 양압의 크기를 조절하는 양압조절유닛; 및상기 음압라인에 연결되고, 상기 음압라인을 통해 출력되는 음압의 크기를 조절하는 음압조절유닛;을 포함하고,상기 음압조절유닛은,상기 음압라인에 연결되는 음압밸브; 및상기 음압밸브의 동작을 제어하는 음압프로세서;를 포함하고,상기 음압프로세서는,목표 음압과 상기 음압라인을 통해 출력되는 음압의 차이를 기초로 제1음압신호를 출력하는 음압제어기;상기 양압라인으로부터 출력되는 양압의 변화에 따라 발생되는 외란을 추정하는 음압외란관측부; 및상기 음압제어기로부터 출력된 상기 제1음압신호에서 상기 음압외란관측부로부터 추정된 상기 외란을 제거하여 제2음압신호를 출력하는 음압외란보상기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 7 | 제 6항에 있어서,상기 음압밸브는 상기 음압라인과 외부 대기의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 8 | 제 6항에 있어서,상기 음압밸브는 비례제어밸브인 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 9 | 삭제 |
| 10 | 제 1항 또는 제 6항에 있어서,상기 양압라인을 통해 출력되는 양압의 크기를 증폭시키는 양압부스팅유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 11 | 제 10항에 있어서,상기 양압부스팅유닛은,압축 공기를 저장하는 압력저장탱크;상기 양압라인과 상기 압력저장탱크의 사이에 연결되는 부스팅밸브; 및목표 양압과 상기 양압라인을 통해 출력되는 양압을 기초로 상기 부스팅밸브의 동작을 제어하는 부스팅프로세서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
| 12 | 제 11항에 있어서,상기 부스팅프로세서는 상기 양압라인을 통해 출력되는 양압이 상기 목표 양압 대비 설정 비율 미만인 경우, 상기 부스팅밸브를 개방하는 것을 특징으로 하는 압력 제어 장치. |
