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번호	청구항
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9	플라즈마에 위치하는 기준 팁을 통해 상기 플라즈마의 진동에 관한 정보를 포함하는 플라즈마 기준 데이터를 획득하고, 상기 플라즈마에 위치하는 측정 팁에 인가되는 전압 및 전류에 관한 플라즈마 측정 데이터를 획득하는, 데이터 측정 단계(S100);상기 플라즈마 기준 데이터에 변환 프로세스를 적용하여, 시간에 따른 상기 플라즈마의 위상을 나타내는 플라즈마 위상 데이터를 추출하는, 플라즈마 위상 데이터 추출 단계(S200);상기 플라즈마 위상 데이터로부터 일 위상에 대응되는 측정 시각을 추출하는, 위상별 측정 시각 추출 단계(S300); 그리고 상기 플라즈마 측정 데이터 중에서 상기 측정 시각에서의 데이터인 위상별 플라즈마 측정 데이터를 추출하는, 위상별 플라즈마 측정 데이터 추출 단계(S400)를 포함하는,플라즈마 측정 방법(S10).
10	제9항에 있어서,상기 변환 프로세스는,저역 통과 필터링(low pass filtering) 및 힐버트 변환(Hilbert transform) 중 적어도 하나를 포함하는,플라즈마 측정 방법(S10).
11	제9항에 있어서,상기 위상별 플라즈마 측정 데이터로부터 위상별 플라즈마 물리량을 추출하는, 위상별 플라즈마 물리량 추출 단계(S500)를 포함하는,플라즈마 측정 방법(S10).
12	제11항에 있어서,상기 위상별 플라즈마 물리량을 통계적으로 합산하여 플라즈마 물리량을 추출하는, 플라즈마 물리량 추출 단계(S600)를 포함하는,플라즈마 측정 방법(S10).