전후 방향으로 연장되고 내부에 중공부를 형성하는 플라즈마 챔버 바디를 구비하는 플라즈마 챔버 및 상기 플라즈마 챔버의 후단부에 결합되며 중심부에 개구부를 형성하는 제1 전자 인출 전극을 포함하는, 플라즈마 유닛;상기 플라즈마 챔버의 후단에 연결되며 내부에 중공부를 형성하는 전측 챔버 및 상기 전측 챔버에 결합되는 전측 자기장 형성부를 구비하는, 전측 전자 수송 유닛;상기 전측 챔버의 후단에 연결되는 게이트 밸브 바디 및 상기 게이트 밸브 바디에 형성된 게이트 밸브 중공부를 구비하는, 게이트 밸브 모듈; 그리고 상기 게이트 밸브 모듈의 후단에 연결되며 내부에 중공부를 형성하는 후측 챔버 및 상기 후측 챔버에 결합되는 후측 자기장 형성부를 구비하는, 후측 전자 수송 유닛을 포함하고, 상기 전측 자기장 형성부 및 상기 후측 자기장 형성부는,상기 전측 챔버, 상기 게이트 밸브 중공부 및 상기 후측 챔버를 관통하는 자속(magnetic flux)을 형성하며,상기 플라즈마 유닛은,상기 플라즈마 챔버 바디의 내부에 위치하고, 상기 제1 전자 인출 전극을 향하여 개방된 중공부를 형성하는, 리펠러; 그리고 링 또는 디스크의 형상을 형성하고 상기 리펠러의 상기 중공부에 수용되며 후면이 상기 제1 전자 인출 전극을 마주하는 전자 소스를 포함하는, 전자 공급 장치.

제1항에 있어서,상기 전측 자기장 형성부와 상기 후측 자기장 형성부의 사이에 위치하고, 상기 게이트 밸브 중공부를 관통하는 자속을 형성하는, 미들 마그넷 모듈을 더 포함하는,전자 공급 장치.

제2항에 있어서,상기 미들 마그넷 모듈은, 상기 전측 자기장 형성부와 상기 게이트 밸브 바디의 사이에 위치하는 전측 미들 마그넷 모듈; 그리고 상기 게이트 밸브 바디와 상기 후측 자기장 형성부의 사이에 위치하는 후측 미들 마그넷 모듈을 포함하는,전자 공급 장치.

제1항에 있어서, 상기 플라즈마 챔버는,상기 플라즈마 챔버 바디의 전단부에 결합되는 플라즈마 챔버 전면 플랜지; 및 상기 플라즈마 챔버 바디의 후단부에 결합되는 플라즈마 챔버 후면 플랜지를 포함하는,전자 공급 장치.

제4항에 있어서,상기 플라즈마 유닛은,상기 전자 소스에 연결되어 상기 전자 소스에 전류를 제공하는 전자 소스 케이블을 더 포함하는,전자 공급 장치.

제5항에 있어서,상기 리펠러는 상기 플라즈마 챔버 후면 플랜지를 향하여 오목하고, 음(negative)의 전위를 형성하는, 전자 공급 장치.

제6항에 있어서, 상기 전자 소스의 상기 후면은,상기 리펠러에 수용되되 상기 플라즈마 챔버 후면 플랜지를 마주하는,전자 공급 장치.

제1항에 있어서,상기 플라즈마 유닛은,상기 플라즈마 챔버의 상기 후단부에 결합되고, 상기 제1 전자 인출 전극의 뒤에 위치하고, 중심부에 개구부를 형성하는, 제2 전자 인출 전극을 더 포함하고,상기 제2 전자 인출 전극의 전위는 상기 제1 전자 인출 전극의 전위 보다 높은,전자 공급 장치.

제8항에 있어서,상기 플라즈마 유닛은,상기 플라즈마 챔버의 상기 후단부에 결합되고, 상기 제2 전자 인출 전극의 뒤에 위치하고, 중심부에 개구부를 형성하는, 제3 전자 인출 전극을 더 포함하고,상기 제2 전자 인출 전극의 전위는 상기 제3 전자 인출 전극의 전위 보다 높은,전자 공급 장치.

제1항에 있어서,상기 전측 챔버는,전후 방향으로 연장되고, 상기 플라즈마 챔버 및 상기 게이트 밸브 중공부에 연통되는, 전측 챔버 바디; 및 상기 전측 챔버 바디의 후단에서 반경 방향으로 돌출된 전측 챔버 윙을 포함하는,전자 공급 장치.

제10항에 있어서,상기 전측 챔버와 상기 게이트 밸브 모듈을 결합하는 전측 클램프 모듈을 더 포함하고,상기 게이트 밸브 모듈은,상기 게이트 밸브 바디의 전단에서 앞으로 연장되고 반경 방향으로 돌출된 전측 게이트 밸브 윙을 더 포함하고,상기 전측 클램프 모듈은,상기 전측 챔버 윙 및 상기 전측 게이트 밸브 윙을 결합하는,전자 공급 장치.

제1항에 있어서,상기 후측 챔버는,전후 방향으로 연장되고 상기 게이트 밸브 중공부에 연통되는, 후측 챔버 바디; 및 상기 후측 챔버 바디의 전단에서 반경 방향으로 돌출된 후측 챔버 윙을 포함하는,전자 공급 장치.

제12항에 있어서,상기 후측 챔버와 상기 게이트 밸브 모듈을 결합하는 후측 클램프 모듈을 더 포함하고,상기 게이트 밸브 모듈은, 상기 게이트 밸브 바디의 후단에서 뒤로 연장되고 반경 방향으로 돌출된 후측 게이트 밸브 윙을 더 포함하고,상기 후측 클램프 모듈은,상기 후측 챔버 윙 및 상기 후측 게이트 밸브 윙을 결합하는,전자 공급 장치.

제1항에 있어서,상기 플라즈마 유닛은,상기 플라즈마 챔버의 외측면에 서로 이격되어 위치하는 복수의 플라즈마 마그넷을 더 포함하고,상기 복수의 플라즈마 마그넷은,상기 플라즈마 챔버의 내부에 마그네틱 커스프를 형성하는,전자 공급 장치.

제14항에 있어서,상기 복수의 플라즈마 마그넷 중 인접하는 양 플라즈마 마그넷은,서로 다른 자기 극이 상기 플라즈마 챔버의 내부를 향하도록 배치되는,전자 공급 장치.

제15항에 있어서,상기 복수의 플라즈마 마그넷의 개수는 짝수인,전자 공급 장치.