다파장 빛을 발생시키는 광원부;상기 광원부에서 출력된 빛을 편광시키며, 편광된 빛의 위상을 지연시키는 편광 생성단;상기 편광 생성단을 통과한 빛의 경로를 변화시키는 광경로 변경부;상기 광경로 변경부로부터 입사된 빛을 집광하여 시료의 표면에 입사시키며 상기 시료로부터 반사된 빛을 통과시켜 대물 렌즈의 후초점면에 투사시키는 대물 렌즈부;상기 후초점면을 통과하는 빛의 편광을 해석하는 편광 해석단; 및상기 후초점면의 중심점을 지나고 상기 후초점면의 직경 방향으로 연장된 라인 형태로 상기 후초점면의 영상 데이터를 취득하는 영상 획득부; 및상기 영상 획득부에서 획득된 데이터를 후처리하여 시료의 물성을 측정하는 신호 처리부;를 포함한 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제1항에 있어서,상기 편광 해석단과 상기 영상 획득부 사이의 광경로상에 배치되어 중계 렌즈의 양 초점이 각각 상기 대물 렌즈의 후초점면과 상기 영상 획득부의 입구에 위치하도록 초점 거리를 연장하는 초점거리연장부를 포함한 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제1항에 있어서,상기 편광 생성단은, 빛을 편광시키는 하나의 편광자와 상기 편광자를 통과한 빛의 위상을 지연시키는 1개 내지 2개의 위상 지연자를 포함한 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제3항에 있어서,상기 편광 생성단은 상기 위상 지연자가 한 쌍이 직렬 형태로 배치되며, 한 쌍의 상기 위상 지연자는 방위각과 두께가 서로 다르게 배치된 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제3항에 있어서,상기 위상 지연자는 빠른 축과 느린 축의 위상 지연 차이가 한 주기(one period) 위상 이상을 가지며 위상 지연이 파수에 선형적인 대응관계를 가지는 다중 위상 지연자인 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제1항에 있어서,상기 편광 해석단은, 빛을 편광시키는 하나의 편광자와 상기 편광자를 통과한 빛의 위상을 지연시키는 0개 내지 2개의 위상 지연자를 포함한 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제6항에 있어서,상기 편광 해석단은 상기 위상 지연자가 한 쌍이 직렬 형태로 배치되며, 한 쌍의 상기 위상 지연자는 방위각과 두께가 서로 다르게 배치된 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제6항에 있어서,상기 위상 지연자는 빠른 축과 느린 축의 위상 지연 차이가 한 주기(one period) 위상 이상을 가지며 위상 지연이 파수에 선형적인 대응관계를 가지는 다중 위상 지연자인 것을 특징으로 하는 라인 스캔 분광기와 다중차 위상 지연자를 이용한 분광 입사각 동축 엘립소미터.

제1항에 따른 엘립소미터를 이용하여 신호를 해석하는 방법으로서,상기 영상 획득부에서 전송된 출력광 스펙트럼을 상기 신호 처리부에서 파수 범위에 대한 위상 지연(δ, Retardance)이 한 주기 배수가 되도록 파수의 범위를 조정하는 파수 범위 조정 단계;상기 파수 범위 조정 단계의 후에 수행되며, 상기 출력광 스펙트럼에서 저주파 신호를 제거하는 저주파 신호 제거 단계;상기 저주파 신호 제거 단계의 후에 수행되며, 스펙트럼에 대해 푸리에 변환을 하여 광경로차 영역 신호를 얻는 푸리에 변환 단계;상기 푸리에 변환 단계의 후에 수행되며, 윈도우 기법을 이용하여 OPD=0 주위의 대역(channel)만 포함하고 나머지 신호는 0으로 만들거나 큰 주파수로 갈수록 0에 수렴하도록 조정하는 윈도우 기법 적용 단계; 및상기 윈도우 기법 적용 단계가 적용된 주파수 신호에 대해 역 푸리에 변환을 하여 푸리에 계수(Sn) 신호를 얻는 역 푸리에 변환 단계;를 포함한 것을 특징으로 하는 신호 해석 방법.

제9항에 있어서,상기 저주파 신호 제거 단계는 광경로차(OPD, Optical path difference) 영역상에서 추출하고자 하는 위상 지연 대역의 위치를 DC(OPD=0 인 주파수 대역)로 이동시키도록 위상 이동항(Phase shift, e(-jδ_n ))을 곱해주는 위상 지연 대역 위치 이동 단계;를 포함한 것을 특징으로 하는 신호 해석 방법.

제9항에 있어서,상기 저주파 신호 제거 단계는, 출력광 스펙트럼으로부터 수치해석적 기울기를 계산하여 기울기의 부호가 양에서 음으로 가능 경우는 극대값으로, 기울기가 음에서 양으로 가는 경우는 극소값으로 결정하여, 상기 극대값과 상기 극소값에 각각 다항식 모델을 적용하여 극대 포락선과 극소 포락선을 얻는 극값 포락선을 결정하는 극값 포락선 적용 단계;상기 극대 포락선과 상기 극소 포락선의 중간값[(극대 포락선+극소 포락선)/2]을 DC 스펙트럼으로 결정하는 DC 스펙트럼 결정 단계; 및상기 DC 스펙트럼 결정 단계의 후에 수행되며, 상기 출력광 스펙트럼에서 상기 DC 스펙트럼을 제거하여 AC 스펙트럼을 구하는 AC 스펙트럼 결정 단계; 를 포함한 것을 특징으로 하는 시료의 신호 해석 방법.

제9항에 있어서,상기 영상 획득부에서 얻는 측정 출력광 스펙트럼과 오차가 최소가 되는 이론 출력광 스펙트럼을 뮬러 행렬을 이용하여 계산할 때, 복굴절 파라미터()를 인 조건을 만족하는 값으로 보정하는 복굴절 파라미터 보정 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 시료의 신호 해석 방법.

제9항에 있어서,상기 역 푸리에 변환 단계에서 얻는 측정 푸리에 계수와 오차가 최소가 되는 이론 푸리에 계수를 뮬러 행렬을 이용하여 계산할 때, 편광 소멸 파라미터()를 인 조건을 만족하는 값으로 보정하는 편광 소멸 파라미터 보정 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 시료의 신호 해석 방법.