| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 박막 형상으로 형성되는 피검사체의 하부에 구비되어 상기 피검사체를 통해 입사되는 초음파가 파원으로 되돌아오도록 역반사시키는 초음파 역반사체,상기 피검사체의 일측에서 초음파의 경사입사가 가능한 형상으로 구비되어 상기 피검사체의 일면으로 초음파를 미리 설정된 경사각도로 경사지게 입사시켜 박막 내부에서 초음파 전파거리를 증가시키는 초음파 입사부, 그리고상기 초음파 입사부에 연결되어 상기 피검사체를 통해 반사되는 초음파의 도달 시간을 측정하여 박막의 두께를 측정하고, 박막의 결함 또는 비균일성을 검사하는 측정부를 포함하는 박막 두께 측정장치. |
| 2 | 제1항에서, 상기 초음파 입사부는 상기 피검사체에 미리 설정된 주파수의 초음파를 송출하며, 상기 피검사체의 내부를 관찰하는 초음파 송수신부, 그리고상기 초음파 송수신부의 일측에 구비되어 상기 피검사체로 입사되는 초음파를 미리 설정된 경사각도로 경사지게 입사시키는 경사 입사부를 포함하는 박막 두께 측정장치. |
| 3 | 제2항에서, 상기 초음파 입사부의 일측에 구비되어 상기 초음파 입사부의 경사 입사를 지지하는 지지부를 더 포함하는 박막 두께 측정장치. |
| 4 | 제1항에서, 상기 초음파는 종파(P파) 또는 횡파(SV파) 중 1종 이상을 포함하는 박막 두께 측정장치. |
| 5 | 제1항에서,상기 초음파 역반사체는 회절격자, 코너 반사체, 탄성 역반사체 중 1종 이상을 포함하는 박막 두께 측정장치. |
| 6 | 박막 형상으로 형성된 피검사체의 하부에 초음파 역반사체를 구비하여 상기 피검사체를 통해 입사되는 초음파가 파원으로 되돌아오도록 역반사시키는 초음파 역반사체 준비단계,상기 피검사체의 일측에서 초음파의 경사입사가 가능한 형상으로 형성되는 초음파 입사부를 구비하여 상기 피검사체의 일면으로 초음파를 미리 설정된 경사각도로 경사지게 입사시켜 박막 내부에서 초음파 전파거리를 증가시키는 초음파 경사입사단계, 그리고상기 초음파 입사부에 측정부를 연결하여 상기 피검사체를 통해 반사되는 초음파의 도달 시간을 측정하여 상기 피검사체의 두께를 측정하고, 박막의 결함 또는 비균일성을 검사하는 측정단계를 포함하는 박막 두께 측정방법. |
| 7 | 제6항에서,상기 초음파는 종파(P파) 또는 횡파(SV파) 중 1종 이상을 포함하는 박막 두께 측정방법. |
| 8 | 제6항에서,상기 초음파 역반사체는 회절격자, 코너 반사체, 탄성 역반사체 중 1종 이상을 포함하는 박막 두께 측정방법. |
