아라미드 섬유 기반의 유기 박막 트랜지스터 및 그의 제조 방법
ARAMID FIBER BASED ORGANIC THIN FILM TRANSISTORS AND FABRICATION METHOD THEREOF
특허 요약
개시된 일 실시 예에 따른 종이 기판에서 유기 박막 트랜지스터를 제조하기 위한 방법은, 자외선을 이용한 평탄화 레이어 경화를 통해, 아라미드 섬유 기반 종이의 평탄화를 수행하는 단계, 및 평탄화된 아라미드 섬유 기반 종이에 어닐링을 수행함으로써 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
1

종이 기판에서 유기 박막 트랜지스터를 제조하기 위한 방법에 있어서,자외선을 이용한 평탄화 레이어 경화를 통해, 아라미드 섬유 기반 종이의 평탄화를 수행하는 단계; 및상기 평탄화된 아라미드 섬유 기반 종이에 어닐링을 수행함으로써 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 평탄화를 수행하는 단계는,상기 아라미드 섬유 기반 종이를 캐리어 유리에 부착하는 단계;상기 아라미드 섬유 기반 종이 위에 자외선 보조 평탄화 물질을 떨어트리는 단계;옥타 데실 트리클로로 실란 처리된 커버 유리로 상기 아라미드 섬유 기반 종이를 덮는 단계;상기 아라미드 섬유 기반 종이의 평탄화 레이어에 대해 자외선 경화를 수행하는 단계; 및상기 옥타 데실 트리클로로 실란 처리된 커버 유리를 상기 아라미드 섬유 기반 종이로부터 제거하는 단계를 포함하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법.

2

삭제

3

제1항에 있어서,상기 커버 유리의 표면 에너지는 상기 옥타 데실 트리클로로 실란 처리를 통해 기준 값보다 작아지는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법.

4

제3항에 있어서,상기 옥타 데실 트리클로로 실란 처리는, 상기 커버 유리를 옥타 데실 트리클로로 실란 용액에 디핑함으로써 수행되는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법.

5

제1항에 있어서,상기 평탄화 레이어는, Si 기반 폴리머에 기초하여 생성되는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법.

6

제1항에 있어서,상기 평탄화 레이어는, 에틸렌 글리콜 디아크릴레이트 또는 자외선 개시제 중 적어도 하나를 포함하는 유기 박막 트랜지스터 제조 방법.

7

아라미드 섬유 기반의 종이 기판; 및상기 종이 기판 상에 형성되는 소스 및 드레인 전극을 포함하고,상기 아라미드 섬유 기반의 종이 기판은,상기 아라미드 섬유 기반 종이는 캐리어 유리에 부착하는 단계;상기 아라미드 섬유 기반 종이 위에 자외선 보조 평탄화 물질을 떨어트리는 단계;옥타 데실 트리클로로 실란 처리된 커버 유리로 상기 아라미드 섬유 기반 종이를 덮는 단계;상기 아라미드 섬유 기반 종이의 평탄화 레이어에 대해 자외선 경화를 수행하는 단계; 및 상기 옥타 데실 트리클로로 실란 처리된 커버 유리를 상기 아라미드 섬유 기반 종이로부터 제거하는 단계를 포함하는 방법에 의해 평탄화 되는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터.

8

제7항에 있어서,상기 평탄화 레이어는, Si 기반 폴리머에 기초하여 생성되는 유기 박막 트랜지스터.