| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 챔버의 일측으로부터 상기 챔버의 타측으로 연속적으로 공급되는 고체 상태의 촉매 금속층 상에 그래핀층을 형성하는 단계;상기 촉매 금속층의 제1 영역을 용융시켜, 용융된 상기 제1 영역 상의 상기 그래핀층을 재결정화하는 단계; 및상기 촉매 금속층을 일 방향으로 이동시킴으로써, 상기 제1 영역에 인접한 상기 촉매 금속층의 제2 영역을 용융시켜, 용융된 상기 제2 영역 상의 상기 그래핀층을 재결정화하는 단계를 포함하고, 상기 그래핀층을 재결정화하는 단계에서 상기 그래핀층은 상기 촉매 금속층과 반응하지 않으며, 상기 그래핀층을 형성하는 단계와 상기 그래핀층을 재결정화하는 단계는 상기 챔버 내에서 순차적으로 이루어지는 그래핀의 제조 방법. |
| 2 | 제1 항에 있어서,상기 촉매 금속층은 일 방향을 따라 순차적으로 용융되는 그래핀의 제조 방법. |
| 3 | 삭제 |
| 4 | 제1 항에 있어서,상기 촉매 금속층을 냉각시키는 단계를 더 포함하는 그래핀의 제조 방법. |
| 5 | 제1 항에 있어서,상기 단계들은 롤투롤(roll to roll) 공정으로 수행되는 그래핀의 제조 방법. |
| 6 | 제5 항에 있어서,상기 그래핀층을 형성하는 단계는, 용융된 상기 제1 및 제2 영역 상의 상기 그래핀층을 재결정화하는 단계들이 수행되는 중에, 상기 촉매 금속층의 적어도 일 영역에서 동시에 수행되는 그래핀의 제조 방법. |
| 7 | 제1 항에 있어서,상기 그래핀층은 복수의 결정립들을 포함하고,상기 그래핀층을 재결정화하는 단계에서, 상기 복수의 결정립들 각각의 크기가 증가하거나, 재배향(reorientation)되는 그래핀의 제조 방법. |
| 8 | 제7 항에 있어서,용융된 상기 제2 영역 상의 상기 그래핀층을 재결정화하는 단계에서,용융된 상기 제2 영역 상의 상기 그래핀층은 상기 제1 영역 상의 상기 그래핀층의 결정 방향에 연속되도록 재배향되는 그래핀의 제조 방법. |
| 9 | 제1 항에 있어서,상기 그래핀층은 제1 열원을 이용하여 형성하고,상기 촉매 금속층은 상기 제1 열원 및 상기 제1 열원보다 좁은 범위로 열을 조사하는 제2 열원을 이용하여 용융시키는 그래핀의 제조 방법. |
| 10 | 제1 항에 있어서,상기 그래핀층을 형성하는 단계는,상기 촉매 금속층 상으로 기상 탄소 공급원을 공급하는 단계; 및상기 기상 탄소 공급원이 분해되어 상기 촉매 금속층 상에 화학 기상 증착되는 단계를 포함하는 그래핀의 제조 방법. |
| 11 | 탄소 공급원이 유입되는 유입구를 포함하는 챔버;상기 챔버의 일 측에 위치하여 촉매 금속층을 공급하는 공급롤;상기 챔버의 타 측에 위치하여 상기 촉매 금속층을 권취하는 귄취롤;상기 챔버 내에서, 상기 공급롤과 상기 권취롤 사이에서 상기 촉매 금속층 아래에 배치되는 제1 열원;상기 챔버 내에서, 상기 공급롤과 상기 권취롤 사이에서 상기 촉매 금속층 위에 배치되며, 상기 제1 열원보다 좁은 범위로 열을 조사하여 상기 촉매 금속층을 국부적으로 용융시키는 제2 열원; 및상기 챔버 내에 배치되는 적어도 하나의 냉각부를 포함하고,상기 제1 열원은 상기 촉매 금속층 상에 그래핀이 형성되는 영역을 결정하고, 상기 제2 열원은 상기 그래핀이 재결정되는 영역을 결정하는 그래핀의 제조 장치. |
| 12 | 제11 항에 있어서,상기 제1 열원은 상기 탄소 공급원을 분해시켜 상기 촉매 금속층 상에 그래핀층을 형성하고,상기 제2 열원은 상기 제1 열원과 함께, 형성된 상기 그래핀 하부의 상기 촉매 금속층을 국부적으로 가열하여 용융시키며,상기 냉각부는 용융된 상기 촉매 금속층을 냉각시키는 그래핀의 제조 장치. |
| 13 | 제11 항에 있어서,상기 제1 열원은 석영 또는 알루미늄 산화물로 이루어진 관 내에 줄(Joule) 히팅 물질이 삽입된 구조이고,상기 제2 열원은 상기 촉매 금속층의 수송 방향에 수직한 방향으로 연장되는 라인 형태로 배치되는 그래핀의 제조 장치. |