베이스 폴리머 필름 및 그 위에 형성된 연질 폴리머층의 다중층 구조를 갖는 지지체; 및상기 지지체의 적어도 일면 상에 형성되며, 핵 성장에 의해 형성된 그레인 바운더리를 갖는 다결정성 금속의 결정성 박막인 전도성 박막;을 구비하며,상기 전도성 박막이, 서로 마주하면서 적어도 일부 면이 서로 접촉하고 있는 크랙면을 갖는 크랙을 포함하고,상기 크랙이 상기 전도성 박막의 그레인 바운더리를 따라 형성되어 있되, 상기 전도성 박막의 두께를 관통하는 깊이로 형성되어 있고, 변위, 진동, 스트레인 및 압력 중 어느 하나 이상의 외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하거나 간격이 줄어들거나 벌어짐으로써 접촉면적이 변화하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화하게 되고 이 변화를 측정함으로써 외부 자극을 측정하는 고감도 센서.

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제1항에 있어서,상기 크랙이 나노 수준의 미세 크랙인 것을 특징으로 하는 고감도 센서.

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제1항에 있어서,상기 전도성 박막의 두께가 20 nm 내지 60 nm 인 것을 특징으로 하는 고감도 센서.

제1항에 있어서,상기 전도성 박막이 백금, 니켈, 구리, 금, 은, 철, 크롬, 마그네슘, 아연, 주석, 알루미늄, 코발트, 망간, 텅스텐, 카드뮴, 팔라듐 및 탄소 중 1종 이상의 전도성 물질 또는 이들의 1종 이상 혼합물인 것을 특징으로 하는 고감도 센서.

제1항에 있어서,상기 센서의 게이지 팩터가 1 내지 5X108인 것을 특징으로 하는 고감도 센서.

제1항에 있어서,상기 센서의 압력 감도가 0.1 내지 1,000 KPa-1인 것을 특징으로 하는 고감도 센서.

제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 압력센서.

제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 스트레인 게이지.

제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 진동센서.

제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 인공피부.

제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 음성인식 시스템.

베이스 폴리머 필름 및 그 위에 형성된 연질 폴리머층의 다중층 구조를 갖는 지지체의 적어도 일면 상에 전도성 박막을 형성하는 단계; 및상기 전도성 박막에 크랙을 유도하는 단계;를 포함하며, 상기 전도성 박막은 핵 성장에 의해 형성된 그레인 바운더리를 갖는 다결정성 금속의 결정성 박막이고,상기 크랙은 상기 전도성 박막의 그레인 바운더리를 따라 형성되어 있되, 상기 전도성 박막의 두께를 관통하는 깊이로 형성되어 있고, 변위, 진동, 스트레인 및 압력 중 어느 하나 이상의 외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하거나 간격이 줄어들거나 벌어짐으로써 접촉면적이 변화하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화하게 되고 이 변화를 측정함으로써 외부 자극을 측정하도록 하는 것인 제1항의 고감도 센서의 제조방법.