캡을 갖는 나노 구조물
NANO-STRUCTURE WITH CAPS
특허 요약
나노 구조물이 제공된다. 일부 실시예에서, 나노 구조물은 탄소나노튜브 몸체를 갖는 탄소나노튜브를 포함한다. 탄소나노튜브 몸체는 몸체의 한쪽 말단에 적어도 하나의 캡을 갖는다.
청구항
번호청구항
29

제28항에 있어서, 상기 도전성 페이스트는 은 페이스트인, 방법.

30

제28항에 있어서, 상기 나노튜브로부터 상기 제2 기판을 제거하는 단계는 상기 도전성 페이스트를 제거하는 단계 를 포함하는, 방법.

1

나노 구조물로서, 제1 말단과 제2 말단을 갖는 나노튜브; 및 제1 나노 캡 을 포함하며, 상기 제1 나노 캡은 상기 나노튜브의 상기 제1 말단에 위치되는, 나노 구조물.

2

제1항에 있어서, 상기 나노튜브는 탄소 나노튜브를 포함하는, 나노 구조물.

3

제1항에 있어서, 제2 나노 캡 을 더 포함하며, 상기 제2 나노 캡은 상기 나노튜브의 상기 제2 말단에 위치되는, 나노 구조물.

4

제1항에 있어서, 상기 제1 나노 캡은 금속을 포함하는, 나노 구조물.

5

제4항에 있어서, 상기 금속은 귀금속 및 마그네틱 금속 중 어느 하나를 포함하는, 나노 구조물.

6

제1항에 있어서, 적어도 하나의 나노입자 를 더 포함하며, 상기 적어도 하나의 나노입자는 상기 나노튜브 내에 위치되는, 나노 구조물.

7

제6항에 있어서, 상기 적어도 하나의 나노입자는 C60 나노입자 및 금속 나노입자 중 어느 하나를 포함하는, 나노 구조물.

8

나노튜브와 전극을 커플링하는 방법으로서, 적어도 하나의 금속 캡을 포함하는 나노튜브를 전극에 대해 위치시키는 단계; 및 상기 전극과 상기 적어도 하나의 금속 캡을 커플링하는 단계 를 포함하는, 방법.

9

제8항에 있어서, 상기 커플링하는 단계는 상기 전극에 상기 적어도 하나의 금속 캡을 용접하는 단계 를 포함하는, 방법.

10

제9항에 있어서, 상기 용접하는 단계는 어닐링 공정을 행하는 단계 를 포함하는, 방법.

11

제9항에 있어서, 상기 용접하는 단계는 전자총 조사를 행하는 단계 를 포함하는, 방법.

12

제8항에 있어서, 상기 위치시키는 단계는 상기 탄소 나노튜브에 대해 전자기력을 인가하는 단계 를 포함하는, 방법.

13

제1 전극; 및 제1 캡을 갖는 나노튜브 를 포함하며, 상기 제1 캡이 상기 제1 전극과 커플링되는, 장치.

14

제13항에 있어서, 상기 장치는 바이오/화학 센서 및 메모리 장치 중 어느 하나인, 장치.

15

제13항에 있어서, 제2 전극 을 더 포함하며, 상기 나노튜브는 상기 제2 전극과 커플링된 제2 캡을 더 가지는, 장치.

16

나노 구조물을 생성하는 방법으로서, 기판에 나노튜브를 성장시키는 단계; 상기 나노튜브를 절연 물질로 절연하는 단계; 상기 절연 물질의 제1 면을 제거하여, 상기 나노튜브의 제1 부분을 노출시키는 단계; 상기 나노튜브의 상기 제1 부분에 캡을 부가하는 단계; 및 상기 나노튜브로부터 상기 기판을 제거하는 단계 를 포함하는, 방법.

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제16항에 있어서, 상기 성장시키는 단계는 상기 나노튜브에 나노입자를 삽입하는 단계 를 포함하는, 방법.

18

제16항에 있어서, 상기 절연하는 단계는 스핀-온-글라스의 스핀 코팅을 행하는 단계 를 포함하는, 방법.

19

제16항에 있어서, 상기 절연하는 단계는 산화 테트라에톡시실란(tetraethoxysilane oxide)의 증착을 행하는 단계 를 포함하는, 방법.

20

제16항에 있어서, 상기 나노튜브의 길이를 조정하는 단계 를 더 포함하는, 방법.

21

제20항에 있어서, 상기 조정하는 단계는 CMP 공정을 행하는 단계 를 포함하는, 방법.

22

제16항에 있어서, 상기 절연 물질의 제1 면을 제거하는 단계는 플루오르화 수소산에 의해 상기 절연 물질의 상기 제1 면을 제거하는 단계 를 포함하는, 방법.

23

제16항에 있어서, 상기 부가하는 단계는 전기/무전해 도금에 의해 상기 캡을 부가하는 단계 를 포함하는, 방법.

24

제16항에 있어서, 상기 부가하는 단계는 나노입자들을 이용한 화학적 자기조립에 의해 상기 캡을 부가하는 단계 를 포함하는, 방법.

25

제16항에 있어서, 상기 나노튜브로부터 상기 기판을 제거하는 단계는 상기 나노튜브로부터 상기 기판을 물리적으로 떼어내는 단계 를 포함하는, 방법.

26

제16항에 있어서, 상기 나노튜브로부터 상기 기판을 제거하는 단계는 상기 기판을 화학적으로 식각해 내는 단계 를 포함하는, 방법.

27

제16항에 있어서, 상기 금속 캡이 상기 나노튜브의 제2 부분보다 제2 기판에 더 가까이 위치하도록, 상기 금속 캡을 가지는 상기 나노튜브를 상기 제2 기판에 위치시키는 단계; 상기 절연 물질의 제2 면을 제거하여, 상기 나노튜브의 상기 제2 부분을 노출시키는 단계; 상기 나노튜브의 상기 제2 부분에 제2 캡을 부가하는 단계; 상기 나노튜브로부터 상기 제2 기판을 제거하는 단계; 및 상기 나노튜브로부터 상기 절연 물질을 제거하는 단계 를 더 포함하는, 방법.

28

제27항에 있어서, 상기 위치시키는 단계는 상기 나노튜브의 상기 제1 부분의 상기 캡을 도전성 페이스트에 의해 상기 제2 기판에 부착하는 단계 를 포함하는, 방법.

31

제30항에 있어서, 상기 도전성 페이스트를 제거하는 단계는 아세톤 용액으로 상기 도전성 페이스트를 식각하는 단계 를 포함하는, 방법.