| 번호 | 청구항 |
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| 14 | 제13항에 있어서, 상기 페로브스카이트 광활성층의 결정 크기는 5 nm 내지 65 nm 인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 광전소자. |
| 1 | 페로브스카이트 전구체와 분산 용매를 포함하는 페로브스카이트 용액을 제조하는 단계;기판 상에 상기 페로브스카이트 용액을 도포하는 단계;상기 페로브스카이트 용액의 도포 과정에서 상기 기판 상에 과포화 반용매 용액(super-saturated antisolvent solution)을 적가하여 페로브스카이트 전구체 박막을 형성하는 단계; 및상기 페로브스카이트 전구체 박막을 열처리하여 페로브스카이트 박막을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 기판 상에 과포화 반용매 용액을 적가하여 페로브스카이트 전구체 박막을 형성하는 단계는,첨가제와 제1 반용매를 혼합하여 첨가제 반용매 용액을 제조하는 단계; 및상기 첨가제 반용매 용액에 제2 반용매를 혼합하여 과포화 반용매 용액을 제조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 2 | 제1항에 있어서, 상기 기판 상에 과포화 반용매 용액을 적가하여 페로브스카이트 전구체 박막을 형성하는 단계는,상기 과포화 반용매 용액을 적가할 때, 상기 첨가제가 고상으로 적가되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 3 | 제1항에 있어서, 상기 페로브스카이트 박막은 상기 첨가제의 용해도에 따라 결정 크기가 제어되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 4 | 제3항에 있어서, 상기 과포화 반용매 용액에 포함되는 상기 제1 반용매 및 상기 제2 반용매의 부피비는 1:9 내지 9:1인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 5 | 제3항에 있어서, 상기 과포화 반용매 용액에 포함되는 첨가제의 용해도는 0.18 mg/ml 내지 1.6 mg/ml 인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 6 | 제1항에 있어서, 상기 페로브스카이트 전구체는 하기 화학식 1로 표시되는 페로브스카이트 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법.[화학식 1]AaMbXc(상기 화학식 1에서, A는 1가의 양이온이고, M은 2가 또는 3가의 금속 양이온이며, X는 1가의 음이온이고, M이 2가의 금속 양이온일 때 a+2b=c, M이 3가의 금속 양이온일 때 a+3b=c이며, a, b, c는 자연수이다.) |
| 7 | 제1항에 있어서, 상기 제1 반용매는 이소프로판올(isopropanol, IPA), 에탄올 (ethanol), 메탄올 (methanol) 및 n-부탄올 (n-buthanol), 1-펜탄올 (1-pentanol) 및 헥산올 (hexanol) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 8 | 제1항에 있어서, 상기 제2 반용매는 톨루엔(toluene), 클로로벤젠 (chlorobenzene), 에틸아세테이트 (ethyl acetate), 클로로포름 (chloroform) 및 이써 (ether) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법. |
| 9 | 제1항에 있어서, 상기 첨가제는 하기 화학식 2로 표시되는 할라이드 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막의 제조방법.[화학식 2]AX(상기 화학식 2에서, A는 1가의 양이온이고, X는 1가의 음이온이다.) |
| 10 | 제1항에 따른 페로브스카이트 박막의 제조방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막. |
| 11 | 제10항에 있어서, 상기 페로브스카이트 박막의 결정 크기는 5 nm 내지 65 nm 인 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 박막. |
| 12 | 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계;상기 제1 전극 상에 정공 주입층을 형성하는 단계;상기 정공 주입층 상에 페로브스카이트 광활성층을 형성하는 단계;상기 페로브스카이트 광활성층 상에 전자 수송층을 형성하는 단계; 및 상기 전자 수송층 상에 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 페로브스카이트 광활성층을 형성하는 단계는 제1항에 따른 페로브스카이트 박막의 제조방법에 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 광전소자의 제조방법. |
| 13 | 제10항에 따른 페로브스카이트 광전소자의 제조방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 페로브스카이트 광전소자. |