금속산화물 투명기판 및 그 제조방법
METAL OXIDE TRANSPARENT SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
특허 요약
본 발명은 금속산화물 투명기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 세부적으로, 저반사 코팅 및 방오 코팅기술에 관한 것이다. 일 실시예에 따르면, 투명 기판; 및 상기 투명 기판 상에 배치된 고굴절율 화합물층으로써 n1의 굴절율을 갖는 제1 코팅층; 및 상기 제1 코팅층 상에 배치된 저굴절율 화합물층으로써 n2의 굴절율을 갖는 제2 코팅층;으로 이루어진 알루미늄 화합물 이중층;을 포함하고,n1003e#n2를 만족하는, 금속산화물 투명기판이 제공될 수 있다.
청구항
번호청구항
1

투명 기판; 및상기 투명 기판 상에 배치된 고굴절율 화합물층으로써 n1의 굴절율을 갖는 제1 코팅층; 및 상기 제1 코팅층 상에 배치된 저굴절율 화합물층으로써 n2의 굴절율을 갖는 제2 코팅층;으로 이루어진 알루미늄 화합물 이중층;을 포함하되,n1003e#n2를 만족하고,상기 알루미늄 화합물 이중층은, 상기 투명 기판에 증착된 알루미늄 원료층을 DI 워터를 이용한 산화공정을 통해 상변환시켜 형성되는,금속산화물 투명기판.

2

삭제

3

제1 항에 있어서,상기 n1은 1.61.7 이고,상기 n2는 1.11.5 인,금속산화물 투명기판.

4

제1 항에 있어서,상기 제1 코팅층은 10100nm의 범위를 만족하는 두께를 갖고,상기 제2 코팅층은 50500nm의 범위를 만족하는 두께를 갖는,금속산화물 투명기판.

5

제4 항에 있어서,상기 제2 코팅층은 상측으로 갈수록 폭이 점진적으로 감소하는 다수개의 단위 플레이크들로 이루어진 무작위 나노 플레이크 구조를 가지는,금속산화물 투명기판.

6

제5 항에 있어서,상기 제2 코팅층은 상기 무작위 나노 플레이크 구조를 가짐에 따라 상측으로 갈수록 굴절율이 연속적으로 감소하는,금속산화물 투명기판.

7

제1 항에 있어서,상기 제1 코팅층과 상기 제2 코팅층은 알루미늄 산화물 및 수산화 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 물질을 포함하는,금속산화물 투명기판.

8

제7 항에 있어서,상기 제1 코팅층은 알루미늄 산화물 박막층이고,상기 제2 코팅층은 알루미늄 산화물 나노구조층인,금속산화물 투명기판.

9

제8 항에 있어서,상기 제1 코팅층은 그레인 바운더리(grain boundary)를 갖는 다결정 알루미늄 산화물 박막층이고,상기 제2 코팅층은 그레인 바운더리(grain boundary)를 갖는 다결정 알루미늄 산화물 나노구조층인,금속산화물 투명기판.

10

투명 기판을 준비하는 제1 단계;준비된 투명 기판 상에 알루미늄 원료층을 증착하는 제2 단계; 및증착된 알루미늄 원료층을 DI 워터를 이용한 산화공정을 통해 상변환시켜 알루미늄 화합물 이중층을 형성하는 제3 단계;를 포함하는,금속산화물 투명기판의 제조방법.

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제10 항에 있어서,상기 제3 단계는,알루미늄 원료층이 증착된 투명 기판을 50~100℃의 DI 워터에 침지시킨 후 기 설정된 침지시간동안 유지하는 단계;를 포함하는,금속산화물 투명기판의 제조방법.

12

제10 항에 있어서,상기 알루미늄 화합물 이중층은,상기 투명 기판 상에 배치된 고굴절율 화합물층으로써 n1의 굴절율을 갖는 제1 코팅층; 및 상기 제1 코팅층 상에 배치된 저굴절율 화합물층으로써 n2의 굴절율을 갖는 제2 코팅층;으로 이루어지고,n1003e#n2를 만족하는,금속산화물 투명기판의 제조방법.