| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 유체를 저장하는 챔버;상기 챔버 내의 공진기;상기 챔버 상에 배치되고, 상기 공진기에 펌프 광을 제공하는 광원;상기 공진기에 생성되는 레이저 광을 검출하는 검출기; 및상기 검출기 및 상기 광원에 연결되고, 상기 레이저 광의 검출신호를 이용하여 상기 레이저 광의 공진 파장을 검출하여 상기 유체 내의 불순물을 판별하는 제어부를 포함하되,상기 공진기는:지지대; 상기 지지대의 중심 상에 제공되고, 상기 유체들을 통과시키는 메타 홀들을 갖는 디스크 플레이트;상기 메타 홀들 각각의 내벽 상에 제공되고, Ge2Sb2Te5를 포함하는 온도 감지 링;상기 온도 감지 링의 내벽 상에 제공되고, 팔라듐을 포함하는 수소 감지 링; 및상기 수소 감지 링의 내벽 상에 제공되고, 실리콘 카바이드를 함유하는 방사선 감지 링을 포함하는 유체 감시 장치. |
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| 11 | 유체를 저장하는 챔버;상기 챔버 내에 펌프 광을 제공하는 광원;상기 챔버 내에 배치되고, 상기 펌프 광을 수신하여 레이저 광을 생성하는 공진기; 상기 광원과 상기 챔버 사이에 제공되어 상기 펌프 광을 투과하고, 상기 레이저 광을 반사하는 빔 스플리터; 및상기 빔 스플리터에 인접하여 제공되어 상기 레이저 광을 검출하는 검출기를 포함하되,상기 공진기는:메타 홀들을 갖는 디스크 플레이트;상기 메타 홀들 각각의 내벽 상에 제공되고, Ge2Sb2Te5를 포함하는 온도 감지 링;상기 온도 감지 링의 내벽 상에 제공되고, 팔라듐을 포함하는 수소 감지 링; 및상기 수소 감지 링의 내벽 상에 제공되고, 실리콘 카바이드를 함유하는 방사선 감지 링을 포함하는 유체 감시 장치. |
| 12 | 제 11 항에 있어서,상기 디스크 플레이트는 3-5족 반도체 물질을 포함하는 유체 감시 장치. |
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| 16 | 윈도우를 갖는 챔버;상기 챔버 내에 펌프 광을 제공하는 광원;상기 광원과 상기 챔버 사이에 배치되는 빔 스플리터;상기 챔버 내에 배치되고, 상기 펌프 광을 수신하여 상기 빔 스플리터에 레이저 광을 제공하는 공진기; 및상기 레이저 광을 검출하는 검출기를 포함하되,상기 공진기는:메타 홀들을 갖는 디스크 플레이트; 상기 메타 홀들 각각의 내벽 상에 제공되고, Ge2Sb2Te5를 포함하는 온도 감지 링;상기 온도 감지 링의 내벽 상에 제공되고, 팔라듐을 포함하는 수소 감지 링; 및상기 수소 감지 링의 내벽 상에 제공되고, 실리콘 카바이드를 함유하는 방사선 감지 링을 포함하는 유체 감시 장치. |
| 17 | 제 16 항에 있어서,상기 챔버는:바닥 플레이트;상기 바닥 플레이트 상에 제공되고 상기 공진기 둘레에 배치되는 측벽; 및상기 측벽 상에 배치되고, 상기 펌프 광 및 상기 레이저 광을 투과하는 윈도우 플레이트를 포함하는 유체 감시 장치. |
| 18 | 제 17 항에 있어서,상기 측벽은 상기 유체를 상기 공진기에 제공하는 유입구와, 상기 유입구와 대향하여 배치되어 상기 유체를 배출하는 유출구를 갖는 유체 감시 장치. |
| 19 | 제 16 항에 있어서,상기 펌프 광은 975nm의 파장을 갖는 유체 감시 장치. |
| 20 | 제 16 항에 있어서,상기 메타 홀들은 상기 디스크 플레이트에 대해 최대 8%의 면적비를 갖는 유체 감시 장치. |
