샘플이 배치되는 샘플 홀더;상기 샘플에 입사되는 입사광을 조사하는 광원;상기 광원에서 조사된 상기 입사광을 상기 샘플에 입사시키고, 상기 샘플 홀더와 상기 샘플의 경계면에서 반사된 반사광 및 상기 샘플에서 산란된 산란광을 포함하는 출력광을 수집하는 제1 대물렌즈;상기 제1 대물렌즈에서 수집된 상기 출력광을 집속하는 제1 텔레센트릭 렌즈;상기 제1 텔레센트릭 렌즈에서 집속된 상기 출력광을 초점 공간 내로 투과시키는 제2 대물렌즈;상기 제2 대물렌즈의 상기 초점 공간 내에 배치되어, 투과된 상기 출력광을 상기 제2 대물렌즈를 향해 반사시키고, 상기 투과된 상기 출력광의 광축 방향을 따라 이동 가능한 이동거울;상기 이동거울에서 반사된 후 상기 제2 대물렌즈에 의해 수집된 상기 출력광을 집속시키는 제1 튜브렌즈; 및상기 제1 튜브렌즈에서 집속된 상기 출력광을 검출하는 제1 검출기;를 포함하는 간섭-산란 현미경.

청구항 1에 있어서,상기 광원으로부터 조사된 상기 입사광을 편향시키는 음향광학편향기;상기 음향광학편향기에서 편향된 상기 입사광을 상기 제1 대물렌즈의 후초점면에 집속시키는 제2 텔레센트릭 렌즈;입사된 평면에 대해 평행한 수평 편광은 투과시키되, 상기 입사된 평면에 대해 수직한 수직 편광은 반사시키도록 형성되어, 상기 제2 텔레센트릭 렌즈를 투과하고 편광된 상기 입사광을 투과시키고, 상기 제1 대물렌즈에서 수집된 상기 출력광을 반사시키는 제1 편광분리기; 및상기 입사광 및 상기 출력광이 진행하는 상기 제1 편광분리기와 상기 제1 대물렌즈 사이의 제1 광경로 상에 배치되는 제1 4분할 파장판;을 더 포함하고,상기 제1 4분할 파장판을 통과하여 상기 제1 대물렌즈의 후초점 면에 집속된 상기 입사광은, 상기 제1 대물렌즈를 통해, 편향된 각도에 따라 상기 샘플의 2차원 평면 상을 스캔하며,상기 제1 4분할 파장판을 통과하고 상기 제1 편광분리기에서 반사된 상기 출력광은, 상기 제1 텔레센트릭 렌즈를 투과하여 상기 제2 대물렌즈의 후초점 면에 집속되는 간섭-산란 현미경.

청구항 2에 있어서,상기 광축 방향을 따르는 상기 제1 텔레센트릭 렌즈와 상기 제2 대물렌즈 사이의 제2 광경로 상에 배치되는 반파장판;상기 제2 광경로 상에서 상기 반파장판과 상기 제2 대물렌즈 사이에 배치되고, 상기 수평 편광은 투과시키되, 상기 수직 편광은 반사시키도록 형성되는 제2 편광분리기; 및상기 제2 광경로 상에서 상기 제2 편광분리기와 상기 제2 대물렌즈 사이에 배치되는 제2 4분할 파장판;을 더 포함하고,상기 이동거울에서 반사된 출력광은 상기 제2 광경로 상을 따라 진행하다가 상기 제2 편광분리기에서 반사되어 상기 제1 튜브렌즈로 입사되는 간섭-산란 현미경.

청구항 1에 있어서,상기 제1 텔레센트릭 렌즈는,제1 집광렌즈; 및상기 제1 집광렌즈와 마주보도록 배치되는 제2 집광렌즈;를 포함하는 간섭-산란 현미경.

청구항 1에 있어서,상기 광원은, 레이저인 간섭-산란 현미경.

청구항 1에 있어서,상기 제1 검출기는, 상기 출력광을 검출하여 전기적인 영상 신호로 변환하는 이미지 센서;를 포함하는 간섭-산란 현미경.

청구항 2에 있어서,상기 제1 대물렌즈에서 수집된 상기 출력광 중, 상기 입사광과 동일한 파장을 가지는 제1 출력광은 상기 제1 4분할 파장판을 향해 반사시키고, 상기 입사광과 다른 파장을 가지는 제2 출력광은 투과시키는 이색광필터;를 더 포함하는 간섭-산란 현미경.

청구항 7에 있어서,상기 이색광필터를 투과한 상기 제2 출력광을 검출하는 제2 검출기;를 더 포함하는 간섭-산란 현미경.

청구항 8에 있어서,상기 제2 검출기는, 전자증폭카메라인 간섭-산란 현미경.