기울기 센서 및 그 제조 방법
Tilt sensor and fabrication method of the tilt sensor
특허 요약
기울기 센서, 및 기울기 센서 제조 방법이 개시된다. 기울기 센서는 서로 마주 보는 기판, 및 각 기판에서 각각 형성되어 서로 접하고 압전 특성을 가지는 나노선을 포함한다. 이러한 구성으로 인해, 나노선을 이용하여 기울기 센서를 제조하면서도 부가적인 반도체 공정이 필요 없어 유독 물질의 발생을 줄일 수 있고 제조 비용을 절감할 수 있게 된다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 4 | 삭제 |
| 1 | 삭제 |
| 2 | 서로 마주 보는 기판; 및상기 각 기판에서 각각 형성되어 서로 접하며, 압전 특성을 가지는 나노선을 포함하는 기울기 센서로서,상기 기판들 사이에 전류를 인가하기 위한 전류 인가용 단자; 및상기 전류 인가용 단자와 기판상의 다른 위치에 위치하고 상기 기판들 사이의 전압을 측정하기 위한 전압 측정용 단자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기울기 센서. |
| 3 | 제 2항에 있어서,상기 전압 측정용 단자는 기판마다 복수개 설치되는 것을 특징으로 하는 기울기 센서. |
| 5 | 기판상에 압전 특성을 가지는 나노선을 성장시키는 단계; 및상기 나노선이 서로 접하도록 서로 다른 상기 기판을 결합시키는 단계를 포함하는 기울기 센서 제조 방법으로서,상기 기판들 사이에 전류를 인가하기 위한 전류 인가를 위한 단자, 및 상기 전류 인가용 단자와 기판상의 다른 위치에 위치하고 상기 기판들 사이의 전압을 측정하기 위한 전압 측정용 단자를 설치하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기울기 센서 제조 방법. |
| 6 | 제 5항에 있어서,상기 전압 측정용 단자는 기판마다 복수개 설치되는 것을 특징으로 하는 기울기 센서 제조 방법. |
