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번호	청구항
19	제18항에 있어서, 상기 메조다공성 마이크로입자를 수화하는 것은 상기 메조다공성 마이크로입자를 물과 접촉시켜 혼합물을 형성하고 상기 혼합물을 가열하는 것을 포함하는 방법.
20	제19항에 있어서, 상기 메조다공성 마이크로입자와 물의 혼합물을 가열하는 것은 70℃ 내지 150 ℃의 온도 범위에서 30분 내지 24시간 동안 상기 메조다공성 마이크로입자를 비등시키는 가열하는 것을 포함하는 방법.
16	삭제
17	제15항에 있어서, 상기 반응성 기는 히드록실기인 방법.
18	제17항에 있어서, 상기 메조다공성 마이크로입자에 상기 히드록실기를 첨가하는 것은 상기 메조다공성 마이크로입자를 수화하는 것을 포함하는 방법.
1	적어도 하나의 제2 메조다공성 마이크로입자와 Si-O-Si를 포함하는 공유 결합으로 결합된 적어도 하나의 제1 메조다공성 마이크로입자를 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
2	삭제
3	제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 제1 메조다공성 마이크로입자 및 상기 적어도 하나의 제2 메조다공성 마이크로입자는 동일한 형태인 메조다공성 마이크로입자 응집체.
4	제1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 제1 메조다공성 마이크로입자 및 상기 적어도 하나의 제2 메조다공성 마이크로입자는 상이한 형태인 메조다공성 마이크로입자 응집체.
5	제1항에 있어서, 하나 이상의 상기 제1 메조다공성 마이크로입자, 상기 제2 메조다공성 마이크로입자 또는 서로에 공유 결합된 복수의 메조다공성 마이크로입자를 더 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
6	삭제
7	제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 메조다공성 마이크로입자 중 하나 이상은 실리카, 카본 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택된 물질을 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
8	제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 메조다공성 마이크로입자 중 하나 이상은 실리카를 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
9	제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 메조다공성 마이크로입자 중 하나 이상은 MCM-41, MCM-48, MCM-50, SBA-15 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
10	제1항에 있어서, 상기 하나 이상의 제1 메조다공성 마이크로입자 및 상기 하나 이상의 제2 메조다공성 마이크로입자는 약 2 내지 약 50 nm 범위의 직경을 갖는 하나 이상의 메조기공을 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
11	제5항에 있어서, 상기 메조다공성 마이크로입자 응집체의 크기가 1 mm 이상인 것인 메조다공성 마이크로입자 응집체.
12	제10항에 있어서, 상기 하나 이상의 메조기공은 물을 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
13	제10항에 있어서, 상기 하나 이상의 메조기공은 비료, 살충제, 제초제, 살진균제, 살생물제, 생균제 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 물질을 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
14	제13항에 있어서, 상기 비료는 질소, 인, 칼륨, 칼슘, 황, 마그네슘, 붕소, 염소, 망간, 철, 아연, 구리, 몰리브덴, 셀레늄 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 메조다공성 마이크로입자 응집체.
15	제1 메조다공성 마이크로입자 및 제2 메조다공성 마이크로입자에 반응성 기를 첨가하는 단계, 및 상기 반응성 기를 반응시켜 상기 제1 및 제2 메조다공성 마이크로입자 사이에 Si-O-Si를 포함하는 공유 결합을 형성시키는 단계를 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체의 제조 방법.
21	제15항에 있어서, 상기 공유 결합의 형성은 70℃ 내지 500℃ 범위의 온도에서 하나 이상의 반응성 기를 갖는 상기 메조다공성 마이크로입자를 물리적으로 압착하는 것을 포함하는 방법.
22	삭제
23	제10항에 따른 메조다공성 마이크로입자 응집체를 물과 접촉시키는 것을 포함하는 물을 함유하는 메조다공성 마이크로입자 응집체의 제조 방법.
24	제23항에 있어서, 상기 물은 모세관 작용에 의하여 상기 메조다공성 마이크로입자 응집체의 상기 하나 이상의 메조기공으로 유입되는 방법.
25	제10항에 따른 상기 메조다공성 마이크로입자 응집체를, 비료, 살충제, 제초제, 살진균제, 살생물제, 생균제 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 표적 물질과 접촉시키는 것을 포함하는 표적 물질을 함유하는 메조다공성 마이크로입자 응집체의 제조 방법.
26	제25항에 있어서, 표적 물질은 액체 또는 겔 상태이고 모세관 작용에 의하여 상기 하나 이상의 메조기공을 적어도 부분적으로 채우는 방법.
27	제25항 또는 제26항에 있어서, 비료는 질소, 인, 칼륨, 칼슘, 황, 마그네슘, 붕소, 염소, 망간, 철, 아연, 구리, 몰리브덴, 셀레늄 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 방법.
28	제12항의 메조다공성 마이크로입자 응집체를 토양과 접촉시키는 것을 포함하는 토양 중 물 보유 방법.
29	제13항의 메조다공성 마이크로입자 응집체를 기재에 제공하는 것을 포함하는 식물 성장 촉진 방법.
30	제29항에 있어서, 물을 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체를 기재에 제공하는 것을 포함하는 토양 중에 물을 보유시키는 것을 더 포함하는 방법.
31	제30항에 있어서, 기재는 토양, 바위, 물, 식물, 종자, 관개용수 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상인 방법.
32	제12항의 메조다공성 마이크로입자 응집체를 사막이 될 위험에 있는 토지 또는 사막에 적용하는 것을 포함하는 사막화 지연 및/또는 역전 방법.
33	제32항에 있어서, 비료, 살충제, 제초제, 살진균제, 살생물제, 생균제 및 이들의 조합으로 이루어지는 군에서 선택되는 표적 물질을 포함하는 메조다공성 마이크로입자 응집체를 사막이 될 위험에 있는 토지 또는 사막에 적용하는 것을 더 포함하는 방법.
34	삭제