도너 기판 및 표시 장치 제조 방법
DONOR SUBSTRATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE
특허 요약
본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치 제조 방법은, 제1 베이스 기판 및 상기 제1 베이스 기판 상에 배치된 유기물층을 포함하는 도너 기판을 제공하는 단계, 레이저 장치를 이용하여 상기 유기물층을 식각하는 단계, 제2 베이스 기판 및 상기 제2 베이스 기판 상에 배치된 복수의 제1 전극들을 포함하는 표시 기판을 제공하는 단계, 상기 식각된 유기물층이 상기 복수의 제1 전극들에 마주하도록 상기 도너 기판과 상기 표시 기판을 정렬하는 단계, 및 에너지 발생 장치를 이용하여 상기 식각된 유기물층을 상기 표시 기판에 전사하는 단계를 포함할 수 있다.
청구항
번호청구항
19

제18 항에 있어서,상기 베이스 기판은 질화 규소(Si3N4), 질화 알루미늄(AIN), 탄화 규소(SiC) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 도너 기판.

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제1 베이스 기판 및 상기 제1 베이스 기판 상에 배치된 유기물층을 포함하는 도너 기판을 제공하는 단계;레이저 장치를 이용하여 상기 유기물층을 식각하는 단계;제2 베이스 기판 및 상기 제2 베이스 기판 상에 배치된 복수의 제1 전극들을 포함하는 표시 기판을 제공하는 단계;상기 식각된 유기물층이 상기 복수의 제1 전극들에 마주하도록 상기 도너 기판과 상기 표시 기판을 정렬하는 단계; 및에너지 발생 장치를 이용하여 상기 식각된 유기물층을 상기 표시 기판에 전사하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법.

2

제1 항에 있어서,상기 유기물층은 정공 제어층, 발광층, 및 전자 제어층 중 적어도 하나 이상을 포함하는 표시 장치 제조 방법.

3

제1 항에 있어서,상기 제1 베이스 기판은 질화 규소(Si3N4), 질화 알루미늄(AIN), 및 탄화 규소(SiC) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 제1 베이스 기판은 광열 변환층을 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제4 항에 있어서,상기 레이저 장치는 자외선 영역의 파장을 갖는 광을 조사하고, 상기 제1 베이스 기판은 인듐 주석 산화물(ITO), 아연 주석 산화물(ZTO), 불소 첨가 주석 산화물(FTO) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제4 항에 있어서,상기 레이저 장치는 가시광선 영역의 파장을 갖는 광을 조사하고, 상기 제1 베이스 기판은 흑연(Carbon), 실리콘(Silicon), 저마늄(Germanium) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제4 항에 있어서,상기 레이저 장치는 적외선 영역의 파장을 갖는 광을 조사하고, 상기 제1 베이스 기판은 유리(Glass), 산화 알루미늄(Al2O3), 및 산질화 알루미늄 중 적어도 하나 이상을 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 레이저 장치는 수직 공동 표면 발광 레이저인 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 식각된 유기물층을 상기 표시 기판에 전사하는 단계는,상기 도너 기판을 상기 표시 기판에 접촉하는 단계;상기 도너 기판을 사이에 두고 상기 표시 기판과 대향되게 상기 에너지 발생 장치를 정렬하는 단계; 및상기 에너지 발생 장치가 에너지를 제공하는 단계를 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 에너지 발생 장치는 광을 조사하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 에너지 발생 장치는 열원을 제공하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 에너지 발생 장치의 면적은 상기 도너 기판의 면적보다 같거나 큰 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 에너지 발생 장치는 상기 도너 기판 상에서 이동하며 상기 제1 베이스 기판을 향해 에너지를 제공하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 레이저 장치는 상기 도너 기판 상에서 이동하며 상기 유기물층을 향해 레이저를 조사하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 표시 기판은 상기 복수의 제1 전극들 상에 배치되는 정공 제어층을 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제15 항에 있어서,상기 식각된 유기물층을 상기 표시 기판에 전사하는 단계는,상기 정공 제어층 상에 발광층을 전사하는 단계; 및상기 발광층 상에 전자 제어층을 전사하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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제1 항에 있어서,상기 식각된 유기물층을 상기 표시 기판에 전사하는 단계는,상기 복수의 제1 전극들 각각에 순차적으로 적층된 정공 제어층, 발광층, 및 전자 제어층을 일괄 전사하는 단계를 더 포함하는 표시 장치 제조 방법.

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베이스 기판; 및상기 베이스 기판 상에 배치되고, 유기물질을 포함하며 발광소자의 적어도 일부를 구성하는 식각 패턴을 포함하는 도너 기판.

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제18 항에 있어서,상기 베이스 기판은 광열 변환층을 포함하고, 상기 베이스 기판은 인듐 주석 산화물(ITO), 아연 주석 산화물(ZTO), 불소 첨가 주석 산화물(FTO) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 도너 기판.

21

제18 항에 있어서,상기 베이스 기판은 광열 변환층을 포함하고, 상기 베이스 기판은 흑연(Carbon), 실리콘(Silicon), 저마늄(Germanium) 중 적어도 하나 이상을 포함하는 도너 기판.

22

제18 항에 있어서,상기 베이스 기판은 광열 변환층을 포함하고, 상기 베이스 기판은 유리(Glass), 산화 알루미늄(Al2O3), 및 산질화 알루미늄 중 적어도 하나 이상을 포함하는 도너 기판.