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번호	청구항
1	일면에 구동 돌기가 형성된 표면층;상기 표면층의 다른 일면에 적층되고, 일부 영역이 상기 구동 돌기와 중첩하도록 구성된 제1 챔버를 포함하는 제1 챔버층;상기 표면층의 다른 일면에서 상기 제1 챔버층과 다른 층에 적층되고, 일부 영역이 상기 구동 돌기 및 상기 제1 챔버와 중첩하도록 구성된 제2 챔버를 포함하는 제2 챔버층; 및상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버 각각에 공기를 주입하도록 구성된 공기 라인층을 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
2	제 1 항에 있어서,상기 공기 라인층의 아래에 제공되는 바닥층을 더 포함하는 다층 소프트 공압 액추에이터.
3	제 2 항에 있어서,상기 바닥층은 상기 표면층보다 더 큰 강성의 물질을 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
4	제 1 항에 있어서,상기 표면층의 아래에 상기 제1 챔버층이 제공되고, 상기 제1 챔버층의 아래에 상기 제2 챔버층이 제공되는 다층 소프트 공압 액추에이터.
5	제 4 항에 있어서,상기 제1 챔버는 상기 제1 챔버층이 상기 표면층에 대향하는 면에 미리 설정된 면적만큼 표면 처리 또는 표면 식각되어 상기 제1 챔버층이 상기 표면층에 접합되지 않는 영역을 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
6	제 4 항에 있어서,상기 제2 챔버는 상기 제2 챔버층이 상기 제1 챔버층에 대향하는 면에 미리 설정된 면적만큼 표면 처리 또는 표면 식각되어 상기 제2 챔버층이 상기 제1 챔버층에 접합되지 않는 영역을 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
7	제 1 항에 있어서,상기 구동 돌기는 상방으로 볼록하게 라운드진 단면을 갖는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
8	제 1 항에 있어서,상기 공기 라인층은, 상기 제1 챔버에 연결되는 제1 공기 라인과 상기 제2 챔버에 연결되는 제2 공기 라인 중 적어도 하나를 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
9	제 8 항에 있어서,상기 제1 공기 라인은, 두께 방향으로 연장되어 상기 제1 챔버에 연통되는 제1 비아와 상기 제1 비아와 연통되며 평면 방향으로 연장되는 제1 주입선을 포함하고,상기 제2 공기 라인은, 두께 방향으로 연장되어 상기 제2 챔버에 연통되는 제2 비아와 상기 제2 비아와 연통되며 평면 방향으로 연장되는 제2 주입선을 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
10	제 9 항에 있어서,상기 제1 비아는 상기 제1 챔버가 상기 제2 챔버와 중첩하지 않는 영역에 연결되고,상기 제2 비아는 상기 제2 챔버가 상기 제1 챔버와 중첩하지 않는 영역에 연결되는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
11	제 1 항에 있어서,상기 제1 챔버층과 상기 제2 챔버층은 평면상에서 두께 방향으로 서로 중첩하는 중첩 영역을 포함하고,상기 구동 돌기는 평면상에서 상기 중첩 영역에 위치하도록 구성된, 다층 소프트 공압 액추에이터.
12	제 11 항에 있어서,상기 구동 돌기의 평면상의 면적은 상기 중첩 영역의 평면상의 면적보다 더 작거나 같은, 다층 소프트 공압 액추에이터.
13	제 11 항에 있어서,상기 구동 돌기는 상기 제1 챔버층 및 상기 제2 챔버층 각각의 중심으로부터 한 쪽으로 편향되어 위치하도록 구성되는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
14	제 1 항에 있어서,상기 구동 돌기는 중심축이 상기 표면층 상에 위치한 반원기둥 형상을 갖는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
15	제 1 항에 있어서,상기 표면층, 제1 챔버층, 및 제2 챔버층과 서로 다른 층에 제공되고, 일부 영역이 상기 구동 돌기, 제1 챔버, 및 제2 챔버와 중첩하도록 구성된 제3 챔버를 포함하는 제3 챔버층; 및상기 표면층, 제1 챔버층, 제2 챔버층, 및 제3 챔버층과 서로 다른 층에 제공되고, 일부 영역이 상기 구동 돌기, 제1 챔버, 제2 챔버, 및 제3 챔버와 중첩하도록 구성된 제4 챔버를 포함하는 제4 챔버층을 더 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
16	제 15 항에 있어서,상기 구동 돌기는 반구 형상을 갖거나, 또는 중심축이 상기 표면층에 수직한 원기둥 형상을 갖는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
17	복수의 구동 유닛을 포함하는 공압 액추에이터로서,상기 구동 유닛은,일면에 구동 돌기가 형성된 표면층;상기 표면층의 다른 일면에 적층되고, 일부 영역이 상기 구동 돌기와 중첩하도록 구성된 제1 챔버를 포함하는 제1 챔버층; 및상기 표면층의 다른 일면에서 상기 제1 챔버층과 다른 층에 적층되고, 일부 영역이 상기 구동 돌기 및 상기 제1 챔버와 중첩하도록 구성된 제2 챔버를 포함하는 제2 챔버층을 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
18	제 17 항에 있어서,상기 복수의 구동 유닛은 사방으로 어레이 배열되는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
19	제 17 항에 있어서,상기 복수의 구동 유닛 중 서로 이웃하는 적어도 한 쌍의 구동 유닛은 서로 교차하는 방향으로 구동력을 제공하도록 구성된, 다층 소프트 공압 액추에이터.
20	제 19 항에 있어서,상기 복수의 구동 유닛들 중 서로 대각 방향으로 이웃한 한 쌍의 구동 유닛들 사이에 배치된 지지 돌기를 더 포함하는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
21	제 17 항에 있어서,상기 복수의 구동 유닛들이 어레이 배열된 스트립 형태로 이루어지는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
22	제 21 항에 있어서,상기 스트립은 길이방향으로 연장되어 공기 공급이 이루어지는 복수의 메인 라인을 포함하고,상기 제1 챔버에 연결되는 제1 공기 라인과 상기 제2 챔버에 연결되는 제2 공기 라인은 서로 다른 상기 메인 라인으로부터 분기되어 연결되는, 다층 소프트 공압 액추에이터.
23	제 1 항 내지 제 22 항 중 어느 한 항에 따른 다층 소프트 공압 액추에이터를 구비한 로봇 기구.
24	제 23 항에 있어서,상기 로봇 기구는 그리퍼를 포함하는 로봇 핸드이고,상기 그리퍼는 표면에 상기 다층 소프트 공압 액추에이터를 포함하는, 로봇 기구.