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시료를 세정할 수 있는 공간을 제공하는 세정부;상기 세정부에 연결되고, 상기 세정부의 내부공간에 기체가 출입하는 통로를 제공하는 기체관; 및상기 세정부에 연결되고, 상기 세정부 내부공간의 온도를 조절할 수 있는 온도조절부를 포함하고,상기 세정부는,하우징; 및상기 하우징의 내부에 설치되며 상기 온도조절부의 제어에 의해 상기 시료의 가열을 수행하고 상기 시료를 고정하는 가열부재를 포함하고,상기 가열부재는,상기 시료가 고정되어 위치하는 장착 홈; 및상기 장착 홈의 하부에 상기 기체의 유동을 허용하는 환기 홈을 포함하는, 열처리 장치.

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제1항에 있어서,상기 장착 홈은,상기 시료를 관찰하기 위해, 상기 시료를 상면에 위치시키는 시료판의 외형에 대응된 형상을 포함하는, 열처리 장치.

제1항에 있어서,상기 세정부는,상기 가열부재 주변에 설치되고, 복수개의 방열구를 통해 상기 가열부재 주변의 열을 상기 하우징 외부로 방출시키는 방열판을 더 포함하는, 열처리 장치.

제1항에 있어서,상기 세정부는,상기 가열부재의 상부에 위치하고, 상기 시료가 상기 내부공간과 노출되도록 상기 시료를 상면에 위치시키는 시료판을 상기 가열부재에 고정시키는 고정커버를 더 포함하는, 열처리 장치.

제6항에 있어서,상기 고정커버는,상기 시료를 상기 내부공간에 노출시키는 개구를 포함하고, 상기 개구는 상기 시료판의 상부 면적보다 작은 크기를 구비하는, 열처리 장치.

제1항에 있어서,상기 기체관과 연결되어 상기 내부공간의 기체를 흡입하여 상기 내부공간을 진공상태로 만드는 진공펌프를 더 포함하는, 열처리 장치.

제1항에 있어서,상기 기체관과 연결되어 상기 내부공간에 세정용 기체를 유입할 수 있는 기체유입펌프를 더 포함하는, 열처리 장치.

시료를 세정할 수 있는 공간을 제공하는 세정부;상기 세정부에 연결되고, 상기 세정부의 내부공간에 기체가 출입하는 통로를 제공하는 기체관; 상기 세정부에 연결되고, 상기 세정부 내부공간의 온도를 조절할 수 있는 온도조절부;상기 세정부를 고정시킬 수 있는 고정판;상기 기체관과 연결되고, 상기 내부공간의 기체를 흡입하여 상기 내부공간을 진공상태로 만드는 진공펌프; 및상기 기체관과 연결되고, 상기 내부공간에 세정용 기체를 유입할 수 있는 기체유입펌프를 포함하고,상기 세정부의 세정작용 후 상기 기체관에 연결된 상기 진공펌프 또는 상기 기체유입펌프 중 하나를 분리하고 상기 세정부를 상기 온도조절부 및 상기 고정판으로부터 분리하여, 상기 세정부를 현미경에 전달할 수 있는, 열처리 장치를 포함하는 현미경 시스템.

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제10항에 있어서,상기 세정부는,하우징; 및상기 하우징의 내부에 설치되며 상기 온도조절부의 제어에 의해 상기 시료의 가열을 수행하고 상기 시료를 고정하는 가열부재; 및상기 가열부재의 상부에 위치하고, 상기 시료가 상기 내부공간과 노출되도록 시료를 관찰하기 위해 상기 시료를 상면에 위치시키는 시료판을 가열부재에 고정시키는 고정커버를 포함하는, 열처리 장치를 포함하는 현미경 시스템.

시료를 세정할 수 있는 공간을 제공하는 세정부;상기 세정부에 연결되고, 상기 세정부의 내부공간에 기체가 출입하는 통로를 제공하는 기체관; 상기 세정부에 연결되고, 상기 세정부 내부공간의 온도를 조절할 수 있는 온도조절부; 및 상기 세정부를 고정시킬 수 있는 고정판을 포함하고,상기 고정판은,복수개의 연결 홈을 포함하고, 상기 세정부가 상기 복수개의 연결 홈 중 임의의 홈에 고정될 수 있는, 열처리 장치를 포함하는 현미경 시스템.