전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기
Microwave Plasma Generator with Enhanced Power Transmission Efficiency
특허 요약
본 발명은 마이크로파 플라즈마 발생기의 동축케이블의 일단부에서 발생되는 플라즈마에 의한 임피던스 부정합을, 동축케이블의 반대편 일단부에서 외부도체와 내부도체를 전기적으로 연결하는 연결도체의 구조를 변형하여 보상함으로써 마이크로파 전력 공급 장치에서 마이크로파 플라즈마 발생기로 전달되는 전력의 효율을 극대화할 수 있는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기에 관한 것이다.
청구항
| 번호 | 청구항 |
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| 1 | 제1내부도체, 상기 제1내부도체를 둘러싸는 유전체 및 상기 유전체를 둘러싸는 외부도체를 포함하여 이루어지는 동축케이블;상기 제1내부도체와 상기 외부도체를 전기적으로 연결하는 연결도체;상기 외부도체를 경유하여 제1내부도체와 연결되는 제2내부도체를 구비하는 연결부재;를 구비하며상기 연결도체는, 상기 제1내부도체와 전기적으로 연결되는 내부연결도체; 상기 제1내부도체와 상기 외부도체를 하나 이상의 얇은 금속으로 연결해주면서 저항과 인덕터의 역할을 하는 브릿지; 상기 제1내부도체를 고정시켜주면서 상기 외부도체와 전기적으로 연결해주는 외부연결도체; 및불활성가스가 유입되는 가스유입관;을 포함하되,상기 동축케이블의 일단부에서 발생하는 플라즈마에 의한 임피던스 부정합을 보상하여 전력전달 효율의 감소를 방지하는 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기. |
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| 3 | 제 1항에 있어서, 상기 연결도체는상기 동축케이블의 일단부에서 발생하는 플라즈마에 의한 임피던스 부정합을 보상해 줄 수 있는 특정 임피던스를 가지는 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기. |
| 4 | 제 1항에 있어서, 상기 불활성가스는헬륨가스 및 아르곤가스 중 하나인 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기. |
| 5 | 제 1항에 있어서, 상기 제2내부도체는상기 제1내부도체와 전기적으로 연결되어 2.45GHz의 마이크로파 신호를 공급하는 것을 특징으로 하는 전력 전달 효율이 향상된 마이크로파 플라즈마 발생기. |
