| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 | 타겟에 레이저를 조사하는 레이저 조사부;상기 레이저가 조사된 타겟에 홀이 형성되도록, 상기 타겟을 식각하는 식각부; 및상기 식각부를 제어하는 식각 제어부를 포함하는 제어부;를 포함하고,상기 식각부는,식각액인 제1액체를 수용하는 제1챔버, 상기 제1챔버 내부에 배치되며 상기 타겟이 안착되는 식각 스테이지, 및 상기 타겟의 표면의 상태를 측정하는 타겟 센서부를 포함하는 식각 모듈;초음파을 발생시켜 상기 식각 모듈을 진동시키는 초음파 모듈; 및상기 제1액체를 교반하는 교반 모듈;을 포함하고,상기 식각 제어부는,상기 타겟 센서부에서 측정된 정보를 기초로 상기 타겟의 식각 정밀도를 계산하고,상기 식각 정밀도를 기초로 상기 교반 모듈의 작동을 제어하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 2 | 제1항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 식각 정밀도가 지정된 수치 이상인 경우,상기 초음파 모듈 및 상기 교반 모듈을 각각 작동시키는, 표시 장치의 제조장치. |
| 3 | 제1항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 식각 정밀도가 지정된 수치 미만인 경우,상기 초음파 모듈을 작동시키고, 상기 교반 모듈을 오프시키는, 표시 장치의 제조장치. |
| 4 | 제1항에 있어서,상기 식각 제어부는,시간에 따른 홀의 너비의 증가량을 기초로 상기 식각 정밀도를 계산하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 5 | 제1항에 있어서,상기 타겟 센서부는 이미지 센서를 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 6 | 제1항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 타겟 센서부에서 측정된 정보를 기초로 상기 타겟에 홀이 형성되었는지 여부를 계산하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 7 | 제6항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 타겟에 홀이 형성되었다고 판단하면, 상기 초음파 모듈 및 상기 교반 모듈을 오프시키는, 표시 장치의 제조장치. |
| 8 | 제1항에 있어서,상기 제1액체는, HF 및 HCl 중 적어도 하나를 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 9 | 제8항에 있어서,상기 제1액체는, HF 및 HCl이 7:3으로 혼합된 용액을 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 10 | 제1항에 있어서,상기 타겟은 투명한 글래스 물질을 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 11 | 레이저를 조사하여, 타겟에 가상의 제1라인을 따라 미세 균열을 발생시키는 레이저 조사부;상기 타겟에 상기 제1라인을 중심으로 하는 홀이 형성되도록, 상기 타겟을 식각하는 식각부; 및상기 식각부를 제어하는 식각 제어부를 포함하는 제어부;를 포함하고,상기 식각부는,식각액인 제1액체를 수용하는 제1챔버, 상기 제1챔버 내부에 배치되며 상기 타겟이 안착되는 식각 스테이지, 및 상기 타겟의 표면의 상태를 측정하는 타겟 센서부를 포함하는 식각 모듈;초음파을 발생시켜 상기 식각 모듈을 진동시키는 초음파 모듈; 및상기 제1액체를 교반하는 교반 모듈;을 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 12 | 제11항에 있어서,상기 초음파 모듈은,식각 모듈이 배치되며 상기 식각 모듈의 적어도 일부가 잠기도록 제2액체를 수용하는 제2챔버; 및상기 제2챔버에 배치되며, 상기 제2액체가 진동하도록 초음파를 발생시키는 초음파 발생부;를 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 13 | 제11항에 있어서,상기 교반 모듈은,적어도 일부가 상기 제1액체에 잠기는 블래이드; 및상기 블래이드가 운동하도록 상기 블래이드에 구동력을 제공하는 구동부;를 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 14 | 제11항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 타겟 센서부에서 측정된 정보를 기초로 상기 타겟의 식각 정밀도를 계산하고,상기 식각 정밀도를 기초로 상기 교반 모듈의 작동을 제어하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 15 | 제14항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 식각 정밀도가 지정된 수치 이상인 경우,상기 초음파 모듈 및 상기 교반 모듈을 각각 작동시키는, 표시 장치의 제조장치. |
| 16 | 제14항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 식각 정밀도가 지정된 수치 미만인 경우,상기 초음파 모듈을 작동시키고, 상기 교반 모듈을 오프시키는, 표시 장치의 제조장치. |
| 17 | 제14항에 있어서,상기 식각 제어부는,시간에 따른 홀의 너비의 증가량을 기초로 상기 식각 정밀도를 계산하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 18 | 제14항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 타겟 센서부에서 측정된 정보를 기초로 상기 타겟에 홀이 형성되었는지 여부를 계산하는, 표시 장치의 제조장치. |
| 19 | 제18항에 있어서,상기 식각 제어부는,상기 타겟에 홀이 형성되었다고 판단하면, 상기 초음파 모듈 및 상기 교반 모듈을 오프시키는, 표시 장치의 제조장치. |
| 20 | 제11항에 있어서,상기 타겟 센서부는 이미지 센서를 포함하는, 표시 장치의 제조장치. |
