다층막인 예비 펠리클 구조체를 준비하는 단계;상기 예비 펠리클 구조체를 식각 용액 내에 제공하여, 상기 식각 용액 내에 배치된 내부 열원부를 통해 상기 식각 용액의 온도를 제어하며 상기 예비 펠리클 구조체를 식각하는 단계; 및식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 식각 용액으로부터 꺼내는 동시에 상기 식각 용액 외부에 배치된 외부 열원부를 통해 식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 열처리 건조하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제1 항에 있어서, 상기 식각 용액은, 제1 온도의 제1 영역; 및상기 제1 온도보다 높은 제2 온도의 제2 영역을 포함하고, 상기 예비 펠리클 구조체를 식각하는 단계는, 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 제1 영역에서 1차 식각하는 단계; 및상기 1차 식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 제2 영역에서 2차 식각하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제2 항에 있어서, 상기 예비 펠리클 구조체는 제1 시간 동안 상기 1차 식각되고, 상기 제1 시간보다 짧은 제2 시간동안 상기 2차 식각되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제2 항에 있어서, 상기 제1 영역은, 상기 제2 영역 아래에 제공되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제2 항에 있어서, 상기 제2 영역에서 상기 2차 식각된 상기 예비 펠리클 구조체가, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 사이를 왕복 이동하여, 식각된 상기 예비 펠리클 구조체 상의 식각 잔여물을 제거하는 단계를 더 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제2 항에 있어서, 상기 식각 용액은, 상기 제1 온도보다 낮은 제3 영역을 포함하고, 상기 2차 식각된 상기 예비 펠리클 구조체는 상기 제3 영역으로 이동하여, 3차 식각되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제6 항에 있어서, 상기 제3 영역은 상기 제2 영역 상에 제공되는 것을 포함하고, 상기 예비 펠리클 구조체는, 상기 제3 영역에서 상기 3차 식각된 직후, 열처리 건조되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제6 항에 있어서, 상기 제1 영역 내지 상기 제3 영역 사이에, 온도 차이에 의한, 상기 식각 용액의 대류 현상이 발생하는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법.

제1 항에 있어서, 상기 식각 용액은 식각 용기 내에 제공되고, 상기 식각 용기의 입구에 배치된 외부 열원부를 이용하여 식각된 상기 예비 펠리클 구조체가 열처리 건조되는 것을 포함하는 펠리클의 제조 방법.

다층막인 예비 펠리클 구조체를 식각하는 식각 용액이 제공되는 식각 용기;상기 식각 용액 내에 제공되어, 상기 식각 용액의 온도를 제어하는 내부 열원부; 및상기 식각 용액 외부에 배치되어, 식각된 상기 예비 펠리클 구조체가 상기 식각 용액으로부터 꺼내지는 동시에 식각된 상기 예비 펠리클 구조체를 열처리 건조하는 외부 열원부를 포함하는 펠리클 제조 장치.

제10 항에 있어서, 상기 내부 열원부는, 상기 식각 용기의 하단에 제공되고, 제1 온도의 상기 식각 용액을 갖는 제1 영역을 생성하는 제1 내부 열원부; 및상기 제1 내부 열원부 상에 제공되고, 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도의 상기 식각 용액을 갖는 제2 영역을 생성하는 제2 내부 열원부를 포함하는 펠리클 제조 장치.

제11 항에 있어서, 상기 내부 열원부는, 상기 제2 내부 열원부 상에 제공되고, 상기 제1 온도보다 낮은 제3 온도의 상기 식각 용액을 갖는 제3 영역을 생성하는 제3 내부 열원부를 더 포함하는 펠리클 제조 장치.

제10 항에 있어서, 상기 예비 펠리클 구조체와 체결되고, 상기 예비 펠리클 구조체를 상기 식각 용액 내에서 이동시키는 승강 모듈을 더 포함하는 펠리클 제조 장치.