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번호	청구항
10	제1항에 있어서,상기 제2 도전체층 및 상기 유전체층으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 층과 접하는 상기 나노 구조체는, 제1 도핑 영역, 상기 나노 구조체의 길이 방향으로 상기 제1 도핑 영역과 접하는 진성 영역, 및 상기 나노 구조체의 길이 방향으로 상기 진성 영역과 접하는 제2 도핑 영역을 포함하는 태양 전지.
1	상호 이격되어 배치되고 일방향으로 뻗은 복수의 나노 구조체들,상기 복수의 나노 구조체들 중 하나 이상의 나노 구조체의 일단을 덮는 제1 도전체층,상기 제1 도전체층과 이격되어 위치하고, 상기 나노 구조체의 타단을 덮는 제2 도전체층, 및상기 제1 도전체층 및 상기 제2 도전체층의 사이에 위치한 유전체층을 포함하는 태양 전지.
2	제1항에 있어서,상기 나노 구조체의 일단에 실리사이드층이 형성되고, 상기 실리사이드층과 접한 상기 나노 구조체에는 고농도의 p형 도핑 영역이 형성된 태양 전지.
3	제2항에 있어서,상기 고농도의 p형 도핑 영역은 상기 제1 도전층내에 위치하는 태양 전지.
4	제1항에 있어서,상기 제1 도전체층과 접하여 위치한 투명 컨택층, 및상기 투명 컨택층과 접하여 위치한 광투과 기판을 더 포함하는 태양 전지.
5	제4항에 있어서,상기 투명 컨택층은 ITO(indium tin oxide, 인듐 틴 옥사이드)를 포함하는 태양 전지.
6	제1항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들 중 하나 이상의 나노 구조체의 표면 위에 금속나노입자가 위치한 태양 전지.
7	제1항에 있어서,상기 제2 도전체층 및 상기 유전체층으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 층과 접하는 상기 나노 구조체는, 제1 도핑 영역, 및 상기 제2 도전체층의 판면에 평행인 방향으로 상기 제1 도핑 영역을 둘러싸는 제2 도핑 영역을 포함하는 태양 전지.
8	제7항에 있어서,상기 제2 도핑 영역은 n형으로 도핑된 태양 전지.
9	제1항에 있어서,상기 제2 도전체층 및 상기 유전체층으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 층과 접하는 상기 나노 구조체는, 제1 도핑 영역, 및 상기 나노 구조체의 길이 방향으로 상기 제1 도핑 영역과 접하는 제2 도핑 영역을 포함하는 태양 전지.
11	제1항에 있어서,상기 나노 구조체의 일단 및 상기 나노 구조체의 타단에 각각 실리사이드층이 형성된 태양 전지.
12	제1항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들은, 상기 제1 도전층과 접하는 제1 직경, 및 상기 제2 도전층과 접하는 제2 직경을 포함하고,상기 제1 직경은 상기 제2 직경보다 작은 태양 전지.
13	제12항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들의 직경은 상기 나노 구조체의 길이 방향을 따라 상기 제1 도전층에 가까울수록 점차 작아지는 태양 전지.
14	제12항에 있어서,상기 나노 구조체의 일단에는 고농도 도핑 영역이 형성되고, 상기 고농도 도핑 영역은 상기 제1 도전층과 접하는 태양 전지.
15	제14항에 있어서,상기 나노 구조체들의 사이에서 상기 제1 도전층 위에 위치하고, 상기 고농도의 p형 도핑 영역을 덮는 차단층을 더 포함하는 태양 전지.
16	제12항에 있어서,상기 제2 도전층을 사이에 두고 상기 유전체층의 반대편에 위치하는 또다른 유전체층을 더 포함하는 태양 전지.
17	제16항에 있어서,상기 또다른 유전체층의 두께는 0.5mm 내지 30mm인 태양 전지.
18	제17항에 있어서,상기 유전체층 및 또다른 유전체층은 각각 PDMS(polydimethylsiloxane, 폴리디메틸실록산)를 포함하는 태양 전지.
19	제1항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들은 그 길이 방향을 따라 농도 구배를 가지는 태양 전지.
20	제19항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들은 Si1-xGex (0003c#x≤0.5)의 조성을 가지고, 상기 x는 상기 나노 구조체의 길이 방향을 따라 상기 제2 도전층에 가까울수록 순차적으로 작아지는 태양 전지.
21	제20항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들은 Si1-xGex (0003c#x≤0.3)의 조성을 가지는 태양 전지.
22	제1항에 있어서,상기 복수의 나노 구조체들의 표면을 덮고, 상기 유전체층 및 상기 제2 도전층과 접하는 투명 도전층을 더 포함하는 태양 전지.
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