전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법으로, 전이금속전구체 및 칼코겐전구체를 챔버 내로 주입하는 단계; 및상기 전이금속전구체 및 칼코겐전구체를 기상 상태에서 반응시켜, 전이금속칼코겐을 포함하는 막을 기판 상에 증착시키는 단계를 포함하며, 상기 칼코겐전구체는 칼코겐간 결합을 포함하며, 상기 칼코겐간 결합의 결합분해 에너지는 275kJ/mol 이하이며, 상기 증착되는 전이금속칼코겐을 포함하는 막은 단일층 내지 이중층인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 1항에 있어서, 상기 칼코겐전구체는 하기 식의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.R1-Xn-R1(상기 식에서 X는 칼코겐 원소이고, R1은 수소, 탄소수 1 내지 4의 알킬기이며, n은 2 내지 4)

제 1항에 있어서, 상기 칼코겐전구체의 칼코겐은 S, Te 및 Se 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 3항에 있어서, 상기 칼코겐전구체는 이황화 이메틸(Dimethyl disulfide) 또는 이셀렌화 이메틸(Dimethyl diselenide)인 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 1항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법은, 유기금속 촉진자를 상기 챔버에 공급하여, 상기 유기금속 촉진자와 함께 상기 전이금속전구체 및 칼코겐전구체를 반응시켜, 전이금속칼코겐을 포함하는 막을 기판 상에 증착시키는 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 5항에 있어서, 상기 유기금속 촉진자는 유기알칼리금속으로, 상온에서 0.1 mmHg 이상의 증기압을 갖는 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 6항에 있어서, 상기 유기금속 촉진자는 프로피온산 나트륨, 포름산 나트륨, 나트륨 tert-부톡사이드, 칼륨 tert-부톡사이드 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 1항에 있어서, 상기 칼코겐전구체의 분해온도는 섭씨 500도 이하인 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 1항에 있어서, 상기 전이금속 전구체는 전이금속 할라이드, 전이금속 옥시할라이드, 전이금속카보닐 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

제 9항에 있어서, 상기 전이금속 전구체는 MoO2Cl2, MoCl5, WOCl4, WCl5, Mo(CO)6, W(CO)6 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 전이금속칼코겐을 포함하는 막의 증착방법.

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