플라즈마 모니터링 시스템에 있어서,챔버(chamber) 내 플라즈마(plasma)의 방출광을 핀홀(pinhole)을 통해 수광하여 분광 데이터를 획득하도록 구성되는 광검출기; 및상기 분광 데이터를 기반으로 토모그래피(tomography) 데이터를 생성하도록 구성되는 플라즈마 모니터링 장치를 포함하되,상기 플라즈마 모니터링 장치는,상기 토모그래피 데이터를 기반으로 상기 플라즈마의 특성을 모니터링하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 모니터링 시스템.

제1항에 있어서,상기 광검출기는,상기 챔버의 일측에 형성된 제1 뷰포트(view port)에 구비되는 제1 광검출기 및 상기 챔버의 타측에 형성된 제2 뷰포트에 구비되는 제2 광검출기를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 모니터링 시스템.

제1항에 있어서,상기 광검출기는,상기 플라즈마의 방출광을 분산시키도록 구성되는 분산 소자; 및상기 분산 소자에 의해 분산된 방출광을 기반으로 분광 데이터를 생성하도록 구성되는 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 모니터링 시스템.

제3항에 있어서,상기 광검출기는,상기 분산 소자에 의해 분산된 방출광 중 미리 설정된 파장의 빛을 투과하도록 구성되는 간섭 필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 모니터링 시스템.

제1항에 있어서,상기 플라즈마 모니터링 장치는,상기 분광 데이터를 기반으로 상기 광검출기의 시선 정보를 이용하여 상기 방출광의 파장별로 토모그래피 재구성 이미지를 생성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 모니터링 시스템.

플라즈마 모니터링 장치가 챔버(chamber) 내부의 플라즈마(plasma)를 모니터링하는 방법에 있어서,광검출기를 기반으로 상기 플라즈마의 방출광을 핀홀(pinhole)을 통해 수광하여 분광 데이터를 획득하는 단계;상기 분광 데이터를 기반으로 토모그래피(tomography) 데이터를 생성하는 단계; 및상기 토모그래피 데이터를 기반으로 상기 플라즈마의 특성을 모니터링하는 단계를 포함하는 방법.

제6항에 있어서,상기 획득하는 단계는,상기 광검출기에 구비되는 분산 소자를 이용하여 상기 플라즈마의 방출광을 분산시키는 단계; 및상기 분산 소자에 의해 분산된 방출광을 기반으로 상기 광검출기에 구비되는 센서를 이용하여 분광 데이터를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.

제7항에 있어서,상기 획득하는 단계는,상기 분산 소자에 의해 분산된 방출광을 상기 광검출기에 구비되는 간섭 필터를 이용하여 필터링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.

제6항에 있어서,상기 토모그래피 데이터를 생성하는 단계는,상기 분광 데이터를 기반으로 상기 광검출기의 시선 정보를 이용하여 상기 방출광의 파장별로 토모그래피 재구성 이미지를 생성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.

컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 저장되는 컴퓨터 프로그램으로서,상기 컴퓨터 프로그램은, 프로세서에 의해 실행되면,광검출기에 의해 획득되는 챔버(chamber) 내부의 플라즈마(plasma)의 방출광에 대한 분광 데이터를 기반으로 토모그래피(tomography) 데이터를 생성하는 단계와,상기 토모그래피 데이터를 기반으로 상기 플라즈마의 특성을 모니터링하는 단계를 포함하는 플라즈마 모니터링 방법을 상기 프로세서가 수행하도록 하기 위한 명령어를 포함하는 컴퓨터 프로그램.