| 번호 | 청구항 |
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| 5 | 청구항 1에 있어서,상기 코팅액 공급 제어부는, 상기 코팅액 저장부 내측의 압력을 조절하는 압력 제어 유닛을 포함하는 히트파이프 내부 코팅장치. |
| 1 | 코팅액이 저장되는 코팅액 저장부; 내측으로 히트파이프가 하나 이상으로 배치되고, 상기 코팅액 저장부로부터 관로를 통해 코팅액을 공급받아 상기 히트파이프의 내부에 소수성 코팅층을 형성하는 코팅부;상기 코팅부의 높이를 코팅액 저장부의 높이보다 낮게 설정하거나 코팅액 저장부의 높이보다 높게 설정하면서 코팅액 저장부와 코팅부에 사이에 높이차로 발생되는 사이펀 현상으로 코팅액 저장부로부터 코팅부로 코팅액이 공급 또는 공급 중단되도록 제어하는 높이 조절부; 및,상기 코팅액 저장부에서 코팅부로 공급되는 코팅액의 유량 및 공급 속도를 제어하는 코팅액 공급 제어부;를 포함하며,상기 높이 조절부의 동작 정도가 제어되면서 코팅부 상승 속도를 가감시켜 히트파이프 내부에 코팅되는 소수성 코팅층의 두께가 조절되고,상기 코팅액 공급 제어부는 높이 조절부에 의해 코팅부의 높이가 조절되면 코팅액 저장부 내측의 압력을 제어하여 코팅액의 공급 속도를 조절하며, 관로를 통해 코팅부로 공급되는 코팅액의 공급량을 제어하는 히트파이프 내부 코팅장치. |
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| 4 | 청구항 1에 있어서,상기 관로는,일단은 상기 코팅액 저장부에 연결되고, 타단은 복수의 단위 관로로 분지된 후, 상기 각각의 단위 관로는 상기 히트파이프의 내측으로 코팅액 공급이 가능하게 연결되는 히트파이프 내부 코팅장치. |
| 6 | 청구항 1에 있어서,상기 관로는,일단은 상기 코팅액 저장부에 연결되고, 타단은 복수의 단위 관로로 분지된 후, 상기 각각의 단위 관로는 상기 히트파이프의 내측으로 코팅액 공급이 가능하게 연결되며, 상기 코팅액 공급 제어부는, 분지된 상기 단위 관로 각각에 배치되는 유량 제어 밸브를 포함하는 히트파이프 내부 코팅장치. |
| 7 | 청구항 6에 있어서,상기 유량 제어 밸브는,니들 밸브(Needle valve) 또는 솔레노이브 밸브(solenoid valve)를 포함하는 히트파이프 내부 코팅장치. |