| 번호 | 청구항 |
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| 4 | 칼코겐전구체를 이용한 전이금속칼코겐 박막 제조방법으로, 섭씨 200도 이하의 분해온도를 갖는 칼코겐전구체와, 전이금속전구체를 혼합하여 챔버로 주입하는 단계; 및상기 주입된 칼코겐전구체와 상기 전이금속전구체를 열분해하여 반응시킴으로써 상기 챔버 내의 기판 상에서 전이금속칼코겐 박막을 성장시키는 단계를 포함하며, 상기 열분해 반응은, 칼코겐전구체와 전이금속전구체의 분해온도 차이가 섭씨 60도 이내가 되도록 상기 챔버의 온도 및 압력을 조절함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막 제조방법. |
| 5 | 제 4항에 있어서, 상기 반응은 섭씨 150도 내지 200도 내에서 진행되며, 상기 칼코겐전구체는 섭씨 150도 내지 200도 내에서 분해되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막 제조방법. |
| 6 | 제 5항에 있어서, 상기 박막의 성장은 전구체 가스의 확산 속도에 제한되지 않고, 기판 표면에서의 반응속도에 제한되는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막 제조방법. |
| 7 | 제 6항에 있어서, 상기 칼코겐 전구체는 (CH3)2Se2이고, 상기 전이금속 전구체인 Mo(CO)6인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막 제조방법. |
| 8 | 제 5항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐 박막 제조방법에 의하여 제조된 박막은 탄소 부산물과 관련된 피크들(D/G peak; 각각 1360, 1590cm-1)이 라만 스펙트럼 상에서 나타나지 않는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막 제조방법. |
| 9 | 제 4항에 있어서, 상기 전이금속칼코겐 박막을 성장시키는 단계의 온도는 섭씨 160도 이상 섭씨 580도 미만인 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막 제조방법. |
| 10 | 제 4항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 전이금속칼코겐 박막으로, 상기 박막은 기판과 평행한 방향으로 성장된 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막. |
| 11 | 제 10항에 있어서, 상기 박막은 다결정질(polycrystalline)의 결정성을 갖는 것을 특징으로 하는 전이금속칼코겐 박막. |
